什么是第三代半導體?
第三代半導體是以碳化硅SiC、氮化鎵GaN為主的寬禁帶半導體材料,具有高擊穿電場、高飽和電子速度、高熱導率、高電子密度、高遷移率、可承受大功率等特點。
一、半導體材料的劃代
半導體材料的劃代主要按照推出時間早晚劃分,半導體材料目前已經(jīng)劃分到了第三代。第一代是從集成電路發(fā)明開始,最先晶體管是鍺材料,后面發(fā)展成硅材料。
第二代半導體材料是20世紀八九十年代推出的砷化鎵和1990 年后才開始真正用到了產(chǎn)業(yè)上面的磷化銦材料。
2000 年以后,主要是第三代半導體材料,以氮化鎵和碳化硅為主。2005 年以后開始出現(xiàn)超寬禁帶半導體,圖1橫軸為材料引入時間,縱軸為材料的禁帶寬度,4 eV以上禁帶寬度的材料稱為超寬禁帶。包括目前比較典型氧化鎵、金剛石和氮化鋁。這些新材料的引入對半導體體系有很大發(fā)展和補充。
![](http://m.jycsgw.cn/file/upload/202005/25/150420731.jpg)
圖1 半導體材料的劃代
第一代半導體材料,發(fā)明并實用于20世紀50年代,以硅(Si)、鍺(Ge)為代表,特別是硅,構(gòu)成了一切邏輯器件的基礎(chǔ)。我們的CPU、GPU的算力,都離不開硅的功勞。
第二代半導體材料,發(fā)明并實用于20世紀80年代,主要是指化合物半導體材料,以砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)為代表。其中砷化鎵在射頻功放器件中扮演重要角色,磷化銦在光通信器件中應用廣泛……
第三代半導體材料,發(fā)明并實用于本世紀初年,涌現(xiàn)出了碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)、氧化鋅(ZnO)、金剛石(C)、氮化鋁(AlN)等具有寬禁帶(Eg>2.3eV)特性的新興半導體材料,因此也被成為寬禁帶半導體材料。
超寬禁帶半導體材料,2005 年以后開始出現(xiàn)超寬禁帶半導體,圖1橫軸為材料引入時間,縱軸為材料的禁帶寬度,4 eV以上禁帶寬度的材料稱為超寬禁帶。包括目前比較典型氧化鎵、金剛石和氮化鋁。這些新材料的引入對半導體體系有很大發(fā)展和補充。
超寬禁帶半導體材料,2005 年以后開始出現(xiàn)超寬禁帶半導體,圖1橫軸為材料引入時間,縱軸為材料的禁帶寬度,4 eV以上禁帶寬度的材料稱為超寬禁帶。包括目前比較典型氧化鎵、金剛石和氮化鋁。這些新材料的引入對半導體體系有很大發(fā)展和補充。
二、禁帶寬度
禁帶寬度是指一個能帶寬度(單位是電子伏特(eV)),固體中電子的能量是不可以連續(xù)取值的,而是一些不連續(xù)的能帶。要導電就要有自由電子存在,自由電子存在的能帶稱為導帶(能導電)。被束縛的電子要成為自由電子,就必須獲得足夠能量從而躍遷到導帶,這個能量的最小值就是禁帶寬度。半導體材料基本物理性質(zhì)均與禁帶寬度相關(guān),禁帶寬度越窄,材料的物性傾向于金屬,反之則傾向于絕緣體。
第一代半導體材料,屬于間接帶隙,窄帶隙;第二代半導體材料,直接帶隙,窄帶隙;第三代半導體材料,寬禁帶,全組分直接帶隙。
第一代半導體材料,屬于間接帶隙,窄帶隙;第二代半導體材料,直接帶隙,窄帶隙;第三代半導體材料,寬禁帶,全組分直接帶隙。
和傳統(tǒng)半導體材料相比,更寬的禁帶寬度允許材料在更高的溫度、更強的電壓與更快的開關(guān)頻率下運行。
![](http://m.jycsgw.cn/file/upload/202005/25/150432801.jpg)
表1 半導體材料的特性
三、應用方向
第一代半導體材料主要用于分立器件和芯片制造;
第二代半導體材料主要用于制作高速、高頻、大功率以及發(fā)光電子器件,也是制作高性能微波、毫米波器件的優(yōu)良材料,廣泛應用在微波通信、光通信、衛(wèi)星通信、光電器件、激光器和衛(wèi)星導航等領(lǐng)域。
第三代半導體材料廣泛用于制作高溫、高頻、大功率和抗輻射電子器件,應用于半導體照明、5G通信、衛(wèi)星通信、光通信、電力電子、航空航天等領(lǐng)域。第三代半導體材料已被認為是當今電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新動力。
以第三代半導體的典型代表碳化硅(SiC)為例,碳化硅具有高臨界磁場、高電子飽和速度與極高熱導率等特點,使得其器件適用于高頻高溫的應用場景,相較于硅器件,碳化硅器件可以顯著降低開關(guān)損耗。因此,碳化硅可以制造高耐壓、大功率的電力電子器件如MOSFET、IGBT、SBD等,用于智能電網(wǎng)、新能源汽車等行業(yè)。與硅元器件相比,氮化鎵具有高臨界磁場、高電子飽和速度與極高的電子遷移率的特點,是超高頻器件的極佳選擇,適用于5G通信、微波射頻等領(lǐng)域的應用。
第三代半導體材料具有抗高溫、高功率、高壓、高頻以及高輻射等特性,相比第一代硅基半導體可以降低50%以上的能量損失,同時使裝備體積減小75%以上。
第三代半導體屬于后摩爾定律概念,制程和設(shè)備要求相對不高,難點在于第三代半導體材料的制備,同時在設(shè)計上要有優(yōu)勢。
第三代半導體現(xiàn)狀
由于制造設(shè)備、制造工藝以及成本的劣勢,多年來第三代半導體材料只是在小范圍內(nèi)應用,無法挑戰(zhàn)硅基半導體的統(tǒng)治地位。
目前碳化硅襯底技術(shù)相對簡單,國內(nèi)已實現(xiàn)4英寸量產(chǎn),6英寸的研發(fā)也已經(jīng)完成。氮化鎵(GaN)制備技術(shù)仍有待提升,國內(nèi)企業(yè)目前可以批量生產(chǎn)2英寸襯底,并具備了4、6、8英寸襯底生產(chǎn)能力。
第三代半導體的機遇
在5G和新能源汽車等新市場需求的驅(qū)動下,第三代半導體材料有望迎來加速發(fā)展。硅基半導體的性能已無法完全滿足5G和新能源汽車的需求,碳化硅和氮化鎵等第三代半導體的優(yōu)勢被放大。
另外,制備技術(shù)的進步使得碳化硅和氮化鎵器件成本不斷下降,碳化硅和氮化鎵的性價比優(yōu)勢將充分顯現(xiàn)。初步判斷,第三代半導體未來的核心增長點將集中在碳化硅和氮化鎵各自占優(yōu)勢的領(lǐng)域。