處理器廠商開發(fā)、設(shè)計和制造新的處理器，其中一個重要的方面是計量學，它對整個過程中的制造步驟進行分析，以確保你想要發(fā)生的事情是實際發(fā)生。計量學可以讓制造廠識別機器是否正常工作，也有助于對最終產(chǎn)品的表征，即通過禁硅片的某些電壓/頻率或分選，如果硅片特別差，可以在循環(huán)中提前丟棄，從而節(jié)省資金和時間。

如同制造過程中的許多其他步驟一樣，在晶圓廠內(nèi)，計量是一個時間和空間密集型的工作。正如更好的光刻機轉(zhuǎn)向EUV目標一樣，既能實現(xiàn)更小的特征，又能加快每片芯片的加工時間，計量的主要目標是準確的報告，這些機器的吞吐量提高，意味著在任何給定的運行中都需要更少的機器，工藝節(jié)點步驟之間的延遲可以縮短。

ASML公司宣布其多光束檢測工具生產(chǎn)線有了重大發(fā)展。新的eScan1000將單光束掃描過程轉(zhuǎn)移到九光束掃描過程中，ASML聲稱，對于在線缺陷檢測應(yīng)用，這類工具的吞吐量提高了600%。該工具適用于當前生產(chǎn)的所有主要工藝節(jié)點以及5nm及以上。

該公司解釋說，新的eScan1000工具包含一個電子光學系統(tǒng)，可以將一束主光束分成多個光束，同時還可以收集和處理這些次要光束的結(jié)果。該工具將串擾限制2%以下，以保持成像質(zhì)量，并使用高速模式提高了整體的吞吐量，新的計算硬件加速處理小束數(shù)據(jù)的速度比以前更快。此外，該工具還可在一定范圍的光束電流下，分配給它用于物理缺陷檢測和電壓對比檢測。ASML宣傳說，它擁有一個專有的數(shù)據(jù)庫，在缺陷檢測能力方面表現(xiàn)出色，能發(fā)現(xiàn)更多傳統(tǒng)計量方法所遺漏的缺陷。

據(jù)消息稱，ASML已經(jīng)在過去一周內(nèi)將首臺eScan1000系統(tǒng)運往硅谷某特定客戶，在客戶現(xiàn)場進行初步測試和鑒定。但沒有說明客戶是誰。ASML預(yù)計將擴大eScan1000設(shè)備的范圍，以滿足客戶的特定需求，并表示將繼續(xù)開發(fā)具有更多光束和更廣泛的光束分辨率的多光束技術(shù)。鑒于該工具的重要性，我們可能會在今年晚些時候的某個行業(yè)活動中看到路線圖。

來源：cnBeta.COM