隨著中國“芯”浪潮的推進(jìn)，半導(dǎo)體國產(chǎn)替代進(jìn)程也已進(jìn)入到白熱化狀態(tài)。萬業(yè)企業(yè)（600641）旗下凱世通半導(dǎo)體作為本土唯一全領(lǐng)域離子注入機(jī)企業(yè)，穩(wěn)扎穩(wěn)打地深耕于國產(chǎn)核心設(shè)備行業(yè)，致力于將公司打造成中國集成電路裝備的大國重器。

近日，東方財經(jīng)《科創(chuàng)先行者》欄目到訪萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通進(jìn)行采訪。進(jìn)一步了解到，凱世通已研發(fā)出最新的集成電路離子注入機(jī)，其定位是超高先進(jìn)半導(dǎo)體工藝的低能大束流，將于年底將進(jìn)行量產(chǎn)。在摩爾定律的推動下，集成電路的線寬將不斷縮小以應(yīng)對元器件集成度大幅提高的要求下，這也意味著凱世通的超高先進(jìn)工藝設(shè)備將幫助芯片制造技術(shù)性能升級，進(jìn)一步印證公司在離子注入工藝領(lǐng)域內(nèi)遙遙領(lǐng)先。

圖：凱世通低能大束流離子注入機(jī)

據(jù)了解，離子注入在芯片制造前道工藝中是不可或缺的工藝，而低能大束流離子注入機(jī)更是半導(dǎo)體制造中最為核心設(shè)備之一，其開發(fā)難度僅次于光刻機(jī)，存在較高的行業(yè)競爭壁壘，而凱世通是國內(nèi)唯一全領(lǐng)域離子注入機(jī)公司，產(chǎn)品覆蓋集成電路、光伏和AMOLED領(lǐng)域等。

凱世通總經(jīng)理陳克祿博士表示，“公司自主研發(fā)的低能大束流離子注入機(jī)不僅要國產(chǎn)替代，而且要領(lǐng)先全球。”目前該產(chǎn)品在低能和大束流等核心指標(biāo)，特別是束流強(qiáng)度指標(biāo)上，已達(dá)到或超過國外同類產(chǎn)品，因此可更好的降低單位成本消耗，滿足國內(nèi)集成電路行業(yè)實(shí)際應(yīng)用。目前該產(chǎn)品也已順利進(jìn)入離子注入晶圓驗(yàn)證階段，將于今年年底將實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，這標(biāo)志著公司具備先進(jìn)制程的低能大束流離子注入整機(jī)工藝驗(yàn)證的能力，未來有望為全球先進(jìn)制程邏輯、存儲、5G射頻、攝像頭CIS、功率半導(dǎo)體等不同應(yīng)用領(lǐng)域芯片客戶提供離子注入工藝驗(yàn)證服務(wù)。

此外，值得關(guān)注的是凱世通自主研發(fā)的低能大束流集成電路離子注入機(jī)榮獲了北京市科學(xué)技術(shù)獎技術(shù)進(jìn)步一等獎。同時，凱世通“高能離子注入機(jī)關(guān)鍵技術(shù)研究與樣機(jī)驗(yàn)證”項(xiàng)目也被正式列入上海市2019年度“科技創(chuàng)新行動計劃”集成電路領(lǐng)域立項(xiàng)項(xiàng)目清單。因其在集成電路裝備領(lǐng)域的戰(zhàn)略地位和代表意義，該項(xiàng)目入選了上海市科技小巨人工程，榮膺上海市政府頒發(fā)的“上海市科學(xué)技術(shù)獎”、浦東新區(qū)政府頒發(fā)的“上海市浦東新區(qū)科學(xué)技術(shù)獎”等諸多獎項(xiàng)。

圖：凱世通百級潔凈室驗(yàn)證中心

陳克祿博士還介紹到，公司聚焦于集成電路，研發(fā)上采取“領(lǐng)先一步”的策略，以離子束技術(shù)為核心研發(fā)了三種不同類型的離子注入機(jī)設(shè)備，主要應(yīng)用在集成電路、光伏、AMOLED領(lǐng)域。同時，陳克祿博士攜記者參觀了部分樣機(jī)，其中展示的光伏離子注入機(jī)經(jīng)過了四代迭代，產(chǎn)能已經(jīng)達(dá)到每小時6000片，目前全球市占率超過93%，在光伏行業(yè)內(nèi)具備絕對的競爭優(yōu)勢。

來源：半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟