新美光CEO夏秋良介紹，450mm半導(dǎo)體單晶硅棒采用國(guó)際最先進(jìn)MCZ技術(shù)，代表國(guó)際先進(jìn)水平，改變國(guó)內(nèi)無(wú)自主450mm半導(dǎo)體級(jí)單晶硅棒的局面。將在28nm以下晶圓廠實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)替代。

　　新美光 450mm 單晶硅棒

 

　　據(jù)了解，新美光（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司于2013年在蘇州工業(yè)園區(qū)成立，依托中科院納米所加工平臺(tái)和育成中心，致力于先進(jìn)半導(dǎo)體硅材料的研發(fā)、生產(chǎn)加工。獲評(píng)江蘇省科技型中小企業(yè)，高新技術(shù)企業(yè)，首批“新四板”掛牌企業(yè)，蘇州工業(yè)園區(qū)瞪羚培育企業(yè)，上市苗圃培育企業(yè)，蘇州市瞪羚計(jì)劃入庫(kù)企業(yè)。

 

　　2019年12月，新美光完成了數(shù)千萬(wàn)元pre-A輪融資，由陜投成長(zhǎng)基金領(lǐng)投，2020年6月份，又迅速的完成了新的一輪融資，由安豐創(chuàng)投領(lǐng)投。目前在建2萬(wàn)平米廠房，預(yù)計(jì)2021年4月封頂，2021年年底產(chǎn)線投產(chǎn)。

 

　　晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料，制作晶圓需要將單晶硅棒進(jìn)行切段，滾磨，切片，倒角，拋光，激光刻，包裝而成。

 

　　而單晶硅棒的制造則需要純度為99.9999%的電子級(jí)別硅在1400 ℃高溫中溶解，然后在溶液中種入籽晶。隨后慢慢拉出形成圓柱形單晶硅棒。

 

　　電子級(jí)別硅的提純則需要把砂石放在2000℃的高溫中與碳源發(fā)生反應(yīng)。生成純度為98%的硅（冶金級(jí)硅），隨后把粉碎的冶金級(jí)硅與氣態(tài)的氯化氫進(jìn)行氯化反應(yīng)，生成液態(tài)的硅烷。通過(guò)蒸餾和化學(xué)還原工藝，得到了純度為99.99999%的多晶硅。

 

　　此次新美光(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司自主生產(chǎn)的450mm(18寸)11個(gè)9純度的半導(dǎo)體級(jí)單晶硅棒，在當(dāng)下具有十分重要的戰(zhàn)略意義。