近日,北京賽微電子股份有限公司(以下簡稱“賽微電子”)控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技(北京)有限公司(簡稱“賽萊克斯北京”)代工制造的某款MEMS氣體傳感芯片通過了客戶驗證,該客戶已同步簽署試產(chǎn)訂單,賽萊克斯北京啟動首批MEMS氣體傳感芯片8英寸晶圓的小批量試生產(chǎn)。
MEMS氣體傳感芯片基于MEMS工藝制造,具備功耗低、可靠性高的特點,可用于制備各類MEMS氣體傳感器,可廣泛應用于家用環(huán)境監(jiān)測、室內(nèi)新風系統(tǒng)、智能家電產(chǎn)品、車內(nèi)環(huán)境感知等領域。
近年來,賽萊克斯北京持續(xù)加大研發(fā)投入,自主積累基礎工藝,積極探索各類MEMS器件的生產(chǎn)訣竅,努力為全球通信、生物醫(yī)療、工業(yè)汽車、消費電子等各領域客戶,尤其是中國本土客戶提供優(yōu)質(zhì)的MEMS工藝開發(fā)及晶圓制造服務,積極推動公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生產(chǎn)制造能力, 加速國產(chǎn)替代。
賽微電子表示,盡管通過全員努力,已在多領域?qū)崿F(xiàn)MEMS制造技術(shù)的積累和突破,但賽萊克斯北京客觀上仍處于運營初期,產(chǎn)線的產(chǎn)能爬坡、良率提升是一個持續(xù)的過程,產(chǎn)能的繼續(xù)擴充以及產(chǎn)量目標的實現(xiàn)尚需一定時間。