Micro-LED技術(shù)應用已從大屏顯示擴展到微顯示,因其具有低功耗、高亮度、超高分辨率、色彩飽和度、響應速度快、壽命長等優(yōu)勢,已在AR/VR、車載等應用領(lǐng)用嶄露頭角,然而Micro LED微顯示技術(shù)仍處于發(fā)展的初級階段,面臨眾多技術(shù)挑戰(zhàn)。
近日,在廈門召開的第九屆國際第三代半導體論壇(IFWS)&第二十屆中國國際半導體照明論壇(SSLCHINA)的“Mini/Micro-LED技術(shù)產(chǎn)業(yè)應用論壇”上,三安光電氮化鎵事業(yè)部芯片研發(fā)部部長何安和帶來了“Micro-LED微顯示芯片技術(shù)發(fā)展及挑戰(zhàn)”的主題報告,報告聚焦μLEDoS微顯示芯片應用、μLEDoS微顯示芯片技術(shù)路線、μLEDoS微顯示芯片技術(shù)挑戰(zhàn),以及介紹三安光電μLEDoS微顯示芯片開發(fā)狀況。
Micro-LED 微顯示技術(shù):高光效率、高對比度、長壽命、超高像素密度、超緊湊集成尺寸;可廣泛應用于近眼顯示、車載顯示、微投影、可穿戴設備、光通訊等領(lǐng)域;例如“元宇宙”概念持續(xù)火熱,AR智能眼鏡成為虛擬與現(xiàn)實相連的平臺入口,車載智能車燈成就尊享駕駛體驗,微投使投影場景更加豐富。預估至2026 年μLED AR 智能眼鏡顯示器芯片產(chǎn)值為 4100 萬美元(約 2.75 億元人民幣);后期快速增長主要來自于紅光芯片、激光轉(zhuǎn)移、晶圓鍵合及全彩化等技術(shù)逐漸成熟。
當前,Micro-LED技術(shù)趨向半導體集成工藝。報告中還分享了Micro-LED微顯示芯片外延性能提升、Micro-LED微顯示芯片側(cè)壁損傷,Micro-LED微顯示芯片金屬鍵合,Micro-LED微顯示芯片檢測研究進展。其中,針對Micro-LED微顯示芯片金屬鍵合,報告指出,金屬鍵合過程,Au-х(Au、Sn、Ni、In)鍵合界面容易出現(xiàn)空洞,通過研究發(fā)現(xiàn)空洞形成與鍵合條件和金屬比例有很大關(guān)系,鍵合表面沾污將影響金屬之間的相互擴散,致使界面出現(xiàn)非均勻性的合金態(tài)產(chǎn)生界面缺陷,影響結(jié)合強度。因此,需要通過金屬比例、鍵合前等離子處理、鍵合條件綜合調(diào)整,達到較佳鍵合界面。
Micro-LED微顯示芯片檢測方面,單顆微顯示屏上Micro-LED數(shù)量達到幾十~幾百萬級,如何有效快速精準檢測是微顯示芯片量產(chǎn)化的重要挑戰(zhàn),Demura檢測仍處初級階段:(1)推掃式高光譜儀分辨率不高,精準度不夠且速度慢;(2)高分辨率工業(yè)相機進行多次拍照比對,對相機幀率要求高(>15幀),數(shù)據(jù)處理量大,效率低。
(備注:以上信息僅根據(jù)現(xiàn)場整理未經(jīng)嘉賓本人確認,僅供參考?。?/p>