2024年11月19-21日，第十屆國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇與第二十一屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇（SSLCHINA2024）在蘇州盛大召開。作為論壇同期重要配套活動(dòng)之一，《強(qiáng)芯沙龍·會(huì)客廳》首次線下開展，在“平臺(tái)建設(shè)與人才培養(yǎng)”主題環(huán)節(jié)中，深圳平湖實(shí)驗(yàn)室科技發(fā)展部副部長(zhǎng)丁祥金對(duì)“國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)/深圳平湖實(shí)驗(yàn)室”做了詳細(xì)介紹。

信息、能源和物質(zhì)生產(chǎn)是人類社會(huì)三塊基石。半導(dǎo)體技術(shù)促進(jìn)信息技術(shù)、物質(zhì)生產(chǎn)發(fā)展和更多能源需求?；衔锇雽?dǎo)體為社會(huì)發(fā)展與能源需求協(xié)調(diào)一致提供解決方案。丁祥金副部長(zhǎng)介紹，面對(duì)重大需求，2021年3月18日，科技部印發(fā)《關(guān)于支持建設(shè)國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心的函》，明確深圳市政府作為責(zé)任主體聯(lián)合江蘇省共同支持國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心建設(shè)，由中國(guó)電子科技集團(tuán)作為建設(shè)單位聯(lián)合相關(guān)單位落實(shí)各項(xiàng)建設(shè)任務(wù)。 2021年12月28日，國(guó)創(chuàng)中心成立大會(huì)上，科技部授予深圳市“國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心”和“國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（深圳）”兩塊牌子。

深圳平湖實(shí)驗(yàn)室概況：2022年8月深圳市成立深圳平湖實(shí)驗(yàn)室并作為主體運(yùn)營(yíng)，在深圳市龍崗區(qū)羅山科技園建設(shè)一流的化合物功率半導(dǎo)體研發(fā)、中試、工藝、檢測(cè)平臺(tái)。建設(shè)深圳綜合平臺(tái)是深圳市政府深入貫徹落實(shí)習(xí)近平總書記重要指示和重要部署的戰(zhàn)略舉措。深圳平湖實(shí)驗(yàn)室占地面積130畝，100級(jí)潔凈間面積9500平米，擁有業(yè)界領(lǐng)先的寬禁帶功率半導(dǎo)體基礎(chǔ)設(shè)施，國(guó)際先進(jìn)設(shè)備和國(guó)產(chǎn)優(yōu)秀設(shè)備380余臺(tái)套。深圳綜合平臺(tái)人力規(guī)模約350人，匯集海內(nèi)外頂尖人才，采取開放共享的運(yùn)行模式，建立由合作伙伴組成的生態(tài)系統(tǒng)，打造面向全國(guó)的開放、公共、共享的科研平臺(tái)、中試平臺(tái)和分析檢測(cè)中心，共同構(gòu)建可持續(xù)發(fā)展的未來。

產(chǎn)業(yè)定位：致力于功率芯片領(lǐng)先技術(shù)開發(fā)及產(chǎn)業(yè)能力提升。產(chǎn)業(yè)鏈對(duì)技術(shù)可用性期望，逐層向下傳導(dǎo)。芯片是應(yīng)用鏈對(duì)底層功能和產(chǎn)品性能期望的直接承載者。更可靠的底層產(chǎn)品、更能全面技術(shù)、更詳實(shí)數(shù)據(jù)支持服務(wù)。芯片制造是技術(shù)要素的整合者，是應(yīng)用性能的承載者和底層改進(jìn)的拉動(dòng)者。

愿景、價(jià)值觀與使命：追求在SiC和GaN等第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域及面向第四代半導(dǎo)體產(chǎn)出世界級(jí)成果，培養(yǎng)世界級(jí)人才。落實(shí)國(guó)產(chǎn)化設(shè)備驗(yàn)證、材料驗(yàn)證，最終打造全流程國(guó)產(chǎn)化產(chǎn)線并持續(xù)牽引、推動(dòng)國(guó)產(chǎn)設(shè)備和材料的進(jìn)步和趕超。融合高等院校、科研院所、行業(yè)龍頭企業(yè)的科研基礎(chǔ)和技術(shù)創(chuàng)新力量，以市場(chǎng)需求為牽引，突破第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)的共性難題和關(guān)鍵技術(shù)，不斷驅(qū)動(dòng)創(chuàng)新，打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈，并在下一代半導(dǎo)體產(chǎn)出創(chuàng)新成果。

丁祥金副部長(zhǎng)表示，目前深圳平湖實(shí)驗(yàn)室建有全國(guó)首條8吋SiC/GaN中試線的功率半導(dǎo)體開放共享平臺(tái)。覆蓋第三代功率半導(dǎo)體襯底、外延、器件制備、封裝測(cè)試、失效分析、可靠性驗(yàn)證全鏈條；建成先進(jìn)的8inch工藝平臺(tái)，具備向下兼容能力。支撐15-1200V GaN HEMT及1.2kV-15kV SiC MOSFET器件開發(fā)；對(duì)標(biāo)國(guó)際一線Fab設(shè)備配置和專業(yè)團(tuán)隊(duì)，具備研發(fā)、中試與產(chǎn)業(yè)化能力。布局氧化鎵、金剛石、氮化鋁、銻化物及異質(zhì)集成材料與器件的研究。深圳綜合平臺(tái)具備碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)及超寬禁帶功率材料與器件研發(fā)、集成設(shè)計(jì)及試制能力。應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋新能源汽車與軌道交通電驅(qū)動(dòng)、新型電力系統(tǒng)、新一代通信和數(shù)據(jù)中心基礎(chǔ)設(shè)施供電、消費(fèi)類電子和通用電源、抗輻照高功率密度電源裝置等特種裝備及其它應(yīng)用。

報(bào)告中，丁祥金副部長(zhǎng)還對(duì)深圳綜合平臺(tái)的研究方向、工藝平臺(tái)能力、設(shè)計(jì)與仿真能力、EDA國(guó)產(chǎn)化催熟與驗(yàn)證、分析檢測(cè)能力、人才團(tuán)隊(duì)、運(yùn)營(yíng)模式等方面做了詳細(xì)介紹。他表示，目前實(shí)驗(yàn)室擁有自主可控仿真設(shè)計(jì)平臺(tái), 協(xié)同仿真-設(shè)計(jì)-制造-封裝-可靠性多維度聯(lián)合。支撐半導(dǎo)體的建模、提參、TCAD仿真、PDK的建立、良率預(yù)測(cè)、可靠性分析。打造第三代半導(dǎo)體工程服務(wù)平臺(tái)，提供復(fù)雜的計(jì)算機(jī)仿真、驗(yàn)證、培訓(xùn)、成果轉(zhuǎn)化服務(wù)。與國(guó)產(chǎn)EDA廠商緊密合作，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)EDA工具快速驗(yàn)證迭代。搭建產(chǎn)學(xué)研緊密合作的第三代半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)EDA公共服務(wù)平臺(tái)，推動(dòng)國(guó)內(nèi)功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展進(jìn)步。具備完善的、頂尖的第三代功率器件封裝和測(cè)試表征設(shè)備資源，圍繞構(gòu)建第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)引領(lǐng)技術(shù)和關(guān)鍵共性技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新格局，擁有先進(jìn)功率器件分析檢測(cè)所需的全套設(shè)備。

目前深圳綜合平臺(tái)人力規(guī)模約350人，首席團(tuán)隊(duì)來自國(guó)內(nèi)外第三代/第四代半導(dǎo)體頂尖企業(yè)和科研機(jī)構(gòu)， 其中70%具有海外工作經(jīng)驗(yàn)。研發(fā)團(tuán)隊(duì)博士占比超30%打造勇于創(chuàng)新、敢于試錯(cuò)的研究型隊(duì)伍。資深工程師（工作經(jīng)驗(yàn)8年以上）占比超50%，來自國(guó)內(nèi)外知名Fab廠。通過產(chǎn)學(xué)研深入?yún)f(xié)同，與國(guó)內(nèi)重點(diǎn)高校建立創(chuàng)新人才培養(yǎng)機(jī)制。共同確立新研究課題、共同攻克關(guān)鍵技術(shù)、工程碩博聯(lián)合培養(yǎng)。堅(jiān)持在國(guó)家重大專項(xiàng)布局、基礎(chǔ)研究、人才培養(yǎng)、專項(xiàng)創(chuàng)新中心、產(chǎn)業(yè)生態(tài)建設(shè)等在生態(tài)伙伴的協(xié)同下積極落地，共創(chuàng)寬禁帶功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

平臺(tái)建設(shè)與人才培養(yǎng)主題分享嘉賓合影