2025年盛夏，納設(shè)智能迎來(lái)關(guān)鍵進(jìn)展——自主研發(fā)的全自動(dòng)雙腔8英寸碳化硅外延設(shè)備及多臺(tái)8英寸單腔設(shè)備交付龍頭客戶！這一里程碑標(biāo)志著公司在第三代半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的產(chǎn)品實(shí)力邁入新階段，為全球碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈的降本增效注入新的創(chuàng)新動(dòng)力。

雙腔設(shè)計(jì)

效能與精度的雙重躍升

本次交付的核心設(shè)備采用獨(dú)立雙腔體架構(gòu)，獨(dú)創(chuàng)的反應(yīng)腔室設(shè)計(jì)讓客戶運(yùn)營(yíng)成本大大降低，同時(shí)創(chuàng)新性融合多區(qū)獨(dú)立進(jìn)氣控制與智能溫場(chǎng)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)6英寸與8英寸晶圓的高兼容性生產(chǎn)。在工藝性能上，外延層厚度均勻性穩(wěn)定在1%以內(nèi)，摻雜均勻性達(dá)2%以內(nèi)，缺陷密度≤0.1cm2，達(dá)到行業(yè)先進(jìn)水平。

技術(shù)破局

搶占8英寸產(chǎn)業(yè)升級(jí)先機(jī)

隨著新能源汽車、超高壓充電樁等場(chǎng)景對(duì)碳化硅器件的需求激增，全球產(chǎn)業(yè)正加速向8英寸晶圓升級(jí)。納設(shè)智能憑借自主可控的技術(shù)核心，率先實(shí)現(xiàn)8英寸設(shè)備量產(chǎn)交付。公司8英寸設(shè)備自推出以來(lái)數(shù)次榮獲大客戶復(fù)購(gòu)，印證了市場(chǎng)對(duì)公司產(chǎn)品力的認(rèn)可。

賦能產(chǎn)業(yè)

技術(shù)生態(tài)持續(xù)延展

從2021年首臺(tái)碳化硅外延設(shè)備出貨，到本次8英寸雙腔外延設(shè)備交付，納設(shè)智能始終“致力成為全球先進(jìn)材料制造設(shè)備引領(lǐng)者”。2025年，新一代智能外延系統(tǒng)將融合自動(dòng)化技術(shù)，推動(dòng)先進(jìn)材料設(shè)備裝備向“高效低碳、智能集成”進(jìn)化。

從單腔突破到雙腔領(lǐng)航，納設(shè)智能以硬核創(chuàng)新回應(yīng)時(shí)代命題。8英寸設(shè)備的批量交付，是技術(shù)實(shí)力的實(shí)證，更是對(duì)全球產(chǎn)業(yè)鏈升級(jí)的堅(jiān)定承諾。未來(lái)，我們將繼續(xù)攜手合作伙伴，共塑碳化硅產(chǎn)業(yè)的智造未來(lái)！

關(guān)于納設(shè)智能

深圳市納設(shè)智能裝備股份有限公司成立于2018年，主要從事第三代半導(dǎo)體碳化硅、新型光伏材料、納米材料等先進(jìn)材料領(lǐng)域所需的薄膜沉積設(shè)備等高端設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司致力成為全球先進(jìn)材料制造設(shè)備引領(lǐng)者，始終堅(jiān)持自主創(chuàng)新，專注于工藝指標(biāo)、耗材成本、維護(hù)效率等方面的持續(xù)優(yōu)化改進(jìn)。        公司核心團(tuán)隊(duì)由材料設(shè)備領(lǐng)域資深專家組成，自有第三代半導(dǎo)體碳化硅外延設(shè)備研發(fā)技術(shù)榮登“科創(chuàng)中國(guó)”先導(dǎo)技術(shù)榜單。公司于2020年被評(píng)定為具有高成長(zhǎng)性的“國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)”，2024年榮獲國(guó)家級(jí)專精特新“小巨人”認(rèn)定，2025年榮獲高端裝備領(lǐng)域 “金?？苿?chuàng)企業(yè)獎(jiǎng)”。