北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司第一刻蝕BU副總經(jīng)理劉利堅介紹了LED工業(yè)中的干法刻蝕工藝技術(shù)和關(guān)鍵設(shè)備。劉利堅長期以來從事高端微電子裝備設(shè)計開發(fā)工作，對于等離子體刻蝕和PECVD設(shè)備的硬件設(shè)計和工藝應(yīng)用有豐富經(jīng)驗(yàn)。劉利堅介紹了等離子刻蝕的一些技術(shù)問題，并具......