中微半導體設備(上海)有限公司致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微通過創(chuàng)新驅動自主研發(fā)的等離子體刻蝕設備和硅通孔刻蝕設備已在國際主要芯片制造和封測廠商的生產線上廣泛應用于45納米到7納米及更先進的加工工藝和最先進的封裝工藝。目前，正在亞洲地區(qū)40多條國際領先的生產線上運行的中微反應臺（包括介質刻蝕、TSV和MOCVD）已將近800個。中微開發(fā)的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備不僅已在客戶生產線投入量產，而且已成為在藍光LED市場占有率最大的領先設備