河北半導(dǎo)體研究所專用集成電路國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室高級(jí)工程師王晶晶金剛石場(chǎng)效應(yīng)晶體管的射頻功率性能評(píng)價(jià)的報(bào)告,結(jié)合相關(guān)的試驗(yàn)數(shù)據(jù),王晶晶介紹了P型摻雜、晶體管測(cè)試、以及利用MPCVD設(shè)備來(lái)進(jìn)行金剛石薄膜的沉積,利用輕等離子體處理的方法實(shí)現(xiàn)它的P型構(gòu)造,基于金剛石等材料來(lái)制作金剛石射頻器件等研究成果。
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