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劉志彬：濺射中痕量氧氣對高溫退火AlN模板的極性調(diào)節(jié)作用

視頻WBSC 20212025-02-05 16:13

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《濺射中痕量氧氣對高溫退火AlN模板的極性調(diào)節(jié)作用》作者：劉志彬，郭亞楠，閆建昌，曾一平，李晉閩，王軍喜單位：中國科學院半

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