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余佳東：等離子體密度對ICP-MOCVD生長GaN薄膜的影響

視頻WBSC 20212025-01-10 11:58

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《等離子體密度對ICP-MOCVD生長GaN薄膜的影響》作者：余佳東，羅毅，王健，張子軒，李翔，汪萊，郝智彪單位：北京信息科學與技術(shù)

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