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吳帆正樹:碳化硅溝槽刻蝕技術(shù)研究進(jìn)展

視頻WBSC 20212025-01-10 11:58
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《碳化硅溝槽刻蝕技術(shù)研究進(jìn)展》作者:吳帆正樹,張清純,馬宏平,張潔,侯欣藍(lán),張園覽單位:復(fù)旦大學(xué)工程與應(yīng)用技術(shù)研究院超越照明研究所
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