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辰華半導(dǎo)體郭炳磊:用于氮化鎵異質(zhì)外延的高溫PVD氮化鋁緩沖層技術(shù)

視頻IFWS > IFWS20242025-01-10 11:58
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用于氮化鎵異質(zhì)外延的高溫PVD氮化鋁緩沖層技術(shù)High Temperature PVD AlN e Buffer Layer Technology for GaN Heteroepitaxy
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