極智訪談|青島精誠華 青島精誠華旗微電子設(shè)備有限公司是專業(yè)的半導(dǎo)體工藝設(shè)備及先進(jìn)材料專用設(shè)備研發(fā)、制造廠家。致力于為半導(dǎo)體、高新材料提供先進(jìn)的專用設(shè)備,工藝涵蓋擴(kuò)散、氧化、退火、合金、薄膜淀積(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、外延、燒結(jié)等工藝。精誠華旗擁有十幾年的專業(yè)研發(fā)制造經(jīng)驗、半導(dǎo)體工藝設(shè)備覆蓋一、二、三代半導(dǎo)體材料-硅、砷化鎵、氮化鎵等等。產(chǎn)品服務(wù)廣泛應(yīng)用于行業(yè)內(nèi)的大專院校、科研院所、半導(dǎo)體制造企業(yè)工廠等。主要產(chǎn)品有:4"-8"擴(kuò)散爐系列,LPCVD系統(tǒng),PECVD系統(tǒng),VPE系統(tǒng),擴(kuò)散爐爐體系列及真空爐系列。4"-8"
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