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PVT法同質(zhì)外延AlN生長和p型摻雜面臨的挑戰(zhàn)Challenges on homoepitaxial AlN growth and p-type doping by the PVT method王琦琨奧趨光電技術(shù)（杭州）有限公司研發(fā)總監(jiān)（CTO）

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