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面向SiC功率器件的裝備與工藝解決方案NAURA Solutions for SiC Power Devices張軼銘北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司Zhang YimingBeijing NAURA Microelectronics Equipment Co.,Ltd

SiC功率器件制造裝備技術及發(fā)展趨勢Technology and development trends of SiC power devices manufacturing equipment鞏小亮中國電子科技集團公司第四十八研究所、半導體裝備研究部主任Xiaoliang GONGDirector of Semiconductor equipment research department, The 48th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation

用于藍綠光Mini/Micro-LED生產(chǎn)的MOCVD新型裝備Blue/Green Mini and Micro-LEDs Grown on Large Size Substrates for Advanced Display Applications陳耀中微公司MOCVD工藝總監(jiān)Yao CHENDirector of MOCVD Process Technology，Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China

主題對話環(huán)節(jié)，北京大學沈波教授主持下，中科院半導體所研究員趙德剛，中微半導體公司副總裁兼MOCVD產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理郭世平，清華大學長聘副教授汪萊，中科院蘇州納米所研究員孫錢，南京大學教授陳鵬，中科院長春光機所研究員孫曉娟，南京大學教授陸海，江南大學教授敖金平，中國科學技術大學微電子學院執(zhí)行院長、教授龍世兵，浙江大學研究員、電力電子技術研究所副所長楊樹，中科院微電子研究所研究員黃森等學界、業(yè)界中青代骨干

SiC功率器件制造工藝特點與核心裝備創(chuàng)新進展Manufacturing process characteristics and key equipment development of SiC power devices鞏小亮中國電子科技集團公司第四十八研究所 半導體裝備研究部副主任GONGXiaoliang Deputy director of Semiconductor equipment research department, the 48th Research Institute of China Electronics Technology Group Corporation

中電科電子裝備集團有限公司離子注入機技術總監(jiān)張叢分享了《國產(chǎn)離子注入機發(fā)展及應用》主題報告。

本期嘉賓無錫邑文電子科技有限公司總經(jīng)理廖海濤為大家?guī)怼栋雽w裝備主題報告（一）半導體二手裝備市場評估與翻新標準化》