一個極具“高新”特色的沈陽企業(yè)精彩亮相，一聲沈陽IC產(chǎn)業(yè)艦隊加速行進(jìn)的號角已經(jīng)吹響。12月16日，沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司（簡稱芯源微）在上海證券交易所科創(chuàng)板成功首發(fā)上市，成為上交所第66家通過證監(jiān)會注冊并上市的科創(chuàng)板企業(yè)，是遼寧省科創(chuàng)板“第一股”，更被贊譽(yù)為中科院科創(chuàng)板“第一股”、中國半導(dǎo)體光刻設(shè)備上市“第一股”。其成功上市，成為我國光刻設(shè)備板塊進(jìn)軍資本市場的標(biāo)志性事件。

 

　　半導(dǎo)體被稱為制造業(yè)皇冠，是支撐經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，半導(dǎo)體裝備則被稱為這頂皇冠上的明珠，是核心中的核心、基礎(chǔ)中的基礎(chǔ)。芯源微所處的正是半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)鏈上游核心環(huán)節(jié)，因為在行業(yè)發(fā)展中占據(jù)如此重要地位，芯源微開盤當(dāng)日即取得了不俗的成績：發(fā)行價格為26.97元，收盤價格已達(dá)64.5元，當(dāng)日漲幅達(dá)139.15%。

　　科創(chuàng)板的設(shè)立，是我國促進(jìn)科技與資本深度融合、引領(lǐng)經(jīng)濟(jì)發(fā)展向創(chuàng)新驅(qū)動轉(zhuǎn)型的重大舉措。芯源微在省市沈陽高新區(qū)三級部門長期推動下的成功上市，帶足了具有硬核科技創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)、核心科技上市的“高新”特色。

 

　　硬科技是指高精尖原創(chuàng)關(guān)鍵核心技術(shù)，芯源微的“硬”性體現(xiàn)在三個方面：一是技術(shù)含量高、真金白銀，需要長期研發(fā)投入、持續(xù)積累形成；二是價值高，面向先進(jìn)制造業(yè)和國家需求，對提升國家綜合競爭力、推動經(jīng)濟(jì)發(fā)展具有較強(qiáng)支撐引領(lǐng)作用；三是硬骨頭，硬科技的成果應(yīng)用沒有水分和泡沫，短期內(nèi)難以結(jié)合巨大的終端市場迅速擴(kuò)充市場規(guī)模，所以研發(fā)、應(yīng)用過程尤其需要使命感、需要定力、需要堅韌不拔、攻堅克難。

 

　　聚焦同一領(lǐng)域，十七年磨一劍。“作為國家集成電路重大科技專項（02專項）支持的唯一一家國產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備企業(yè)，成為該科技專項實(shí)施以來培育起來的第一家以光刻設(shè)備研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化為目標(biāo)的上市公司，芯源微上市標(biāo)志著我國集成電路裝備中光刻設(shè)備已經(jīng)進(jìn)入資本市場加速發(fā)展，為不久的將來實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)這一核心戰(zhàn)略產(chǎn)品的國產(chǎn)化及成套供應(yīng)提前做好了準(zhǔn)備。國家02專項副總師朱煜說。”通過多年的技術(shù)研發(fā)、實(shí)踐應(yīng)用積累以及持續(xù)承擔(dān)國家02重大專項，芯源微自主開發(fā)了涂膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、單片清洗機(jī)等產(chǎn)品。芯源微專注國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備研發(fā)制造，甘于寂寞、敢于啃硬骨頭，已累計銷售近700臺套，堪稱細(xì)分市場的“隱形冠軍”。

 

　　“芯源微是中科院在科創(chuàng)板上市的第一家院所投資企業(yè)，是創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、資本鏈‘三鏈聯(lián)動’的成功范例。”中國科學(xué)院副院長張濤說。芯源微由中科院沈陽自動化所于2002年發(fā)起創(chuàng)立，主營產(chǎn)品是集成電路生產(chǎn)過程中必須的幾類設(shè)備，目前是國內(nèi)唯一的中高端涂膠顯影設(shè)備提供商；連續(xù)牽頭承擔(dān)國家科技重大專項，擁有專利350多項，主持制定2項行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。芯源微產(chǎn)品目前已銷往海內(nèi)外近百家客戶，獲評中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)十強(qiáng)，是國家首批“專精特新”小巨人企業(yè)。

 

　　“市場上最新款的每一部蘋果手機(jī)、華為手機(jī)，都在用我們芯源微的設(shè)備封裝出來的芯片，包括前置攝像頭、指紋識別器件等。”芯源微董事長、總經(jīng)理宗潤福說，“芯源微最新推出的拳頭產(chǎn)品，命名為奉天1號，設(shè)備單臺售價2000多萬，覆蓋100億元的市場規(guī)模，我們就是要讓全行業(yè)全世界都知道，沈陽不但能生產(chǎn)出傳統(tǒng)的重型設(shè)備，也能生產(chǎn)出全世界最先進(jìn)的高大上的設(shè)備。”

 

　　12月16日，IC產(chǎn)業(yè)的相關(guān)專家表示，芯源微成為東北實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略和加快新舊動能轉(zhuǎn)換的例證。在打造IC裝備領(lǐng)域世界級企業(yè)的發(fā)展進(jìn)程中，芯源微聯(lián)合沈陽高新區(qū)優(yōu)勢企業(yè)（沈陽科儀公司、拓荊公司、新松公司、富創(chuàng)精密、自動化所、博微公司等）共同爭取國家02重大專項，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)配套，協(xié)同發(fā)展，形成了半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的集聚效應(yīng)，促進(jìn)地方經(jīng)濟(jì)快速發(fā)展；作為整機(jī)研發(fā)生產(chǎn)企業(yè)，芯源微產(chǎn)品的快速產(chǎn)業(yè)化，促進(jìn)了新松的凈化機(jī)械手、富創(chuàng)精密加工、博微軟件等企業(yè)發(fā)展，因而成為東北地區(qū)IC裝備的先鋒。

 

　　“芯源微電子公司的成功上市為企業(yè)的加速發(fā)展提供了動力，沈陽高新區(qū)良好的IC裝備產(chǎn)業(yè)生態(tài)環(huán)境和眾多優(yōu)質(zhì)企業(yè)也吸引了投資機(jī)構(gòu)的目光，沈陽科儀、富創(chuàng)精密、拓荊科技、中科博微等一批創(chuàng)新發(fā)展企業(yè)已與多家投資公司合作，即將陸續(xù)邁入科創(chuàng)板行列。”沈陽高新區(qū)黨工委委員張書煒說。

 

　　打破國際壟斷，實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，推進(jìn)經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型，形成國際先進(jìn)、國內(nèi)領(lǐng)先水平的產(chǎn)業(yè)集群。芯源微電子等“隱形冠軍”正在伴隨沈陽高新區(qū)的創(chuàng)新驅(qū)動，成為遼寧省依靠科技進(jìn)步、引領(lǐng)轉(zhuǎn)型升級實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展的一面旗幟。