1、保持最佳的流體溫度控制。

 

　　沉積室內(nèi)的溫度穩(wěn)定性是提高半導(dǎo)體生產(chǎn)效率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。通常由功能強(qiáng)大的冷水機(jī)組調(diào)節(jié)溫度，這些冷水機(jī)組利用通過一根或多根軟管泵入和泵出的冷卻液，如果隔熱不當(dāng)，則冷卻液軟管可能會(huì)成為影響穩(wěn)定性的隱患之一。

 

　　從冷水機(jī)組到加工環(huán)境的輸送過程中，流體溫度自然會(huì)升高。如果軟管未配備合適的隔熱材料，則如果冷水機(jī)組無法補(bǔ)償冷卻液管路中的溫度上升，則沉積室內(nèi)的溫度可能無法達(dá)到最佳水平。

 

　　雖然一般工業(yè)應(yīng)用可能僅使用水作為冷卻液，但半導(dǎo)體應(yīng)用通常使用乙二醇之類的冷卻液，其溫度可能會(huì)低至 -40C。這是一種能源密集型工藝，憑借比標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)軟管更有效地保持冷卻液溫度，隔熱解決方案可以更好地控制在超低溫度下輸送流體的管路的溫度。半導(dǎo)體制造商最為關(guān)注如何盡可能高效地保持適當(dāng)?shù)臏囟龋瑥亩瓤梢源_保芯片制造過程中的高質(zhì)量產(chǎn)出，又可以最大程度地降低能源成本。

 

 

　　在炎熱的天氣下，隔熱不充分的軟管可能會(huì)像一杯冰水一樣起作用；如果軟管的表面溫度低于環(huán)境露點(diǎn)，則會(huì)在軟管外部形成冷凝水。如果兩根冷軟管的鋪設(shè)距離過近，則也可能產(chǎn)生冷凝水，從而導(dǎo)致相互接觸的表面比隔熱的表面溫度更低。

 

　　像在許多工業(yè)應(yīng)用中一樣，冷凝對(duì)于半導(dǎo)體制造商來說可能是一個(gè)問題。當(dāng)軟管穿過底層地板等密閉區(qū)域時(shí)，未被發(fā)現(xiàn)的冷凝水滴落會(huì)危害相鄰的敏感設(shè)備（例如電子設(shè)備），從而造成損壞并可能導(dǎo)致工藝停機(jī)。在非密閉、人流密集的區(qū)域，帶有冷凝液滴的管道或軟管還可能造成滑倒危險(xiǎn)。

 

　　此外，可能需要調(diào)查在任何工業(yè)應(yīng)用附近發(fā)現(xiàn)的小水坑的成因，否則可能會(huì)導(dǎo)致不必要的停機(jī)時(shí)間和資源分配。選擇具有合適隔熱性能的軟管有助于防止冷凝及類似問題。

 

　　3、如何選擇合適的隔熱軟管？

 

　　在選擇用于冷水機(jī)組應(yīng)用的絕緣軟管時(shí)，選擇一種專為低溫而設(shè)計(jì)的材料是非常重要的。盡管一些可用于冷熱流體輸送應(yīng)用的某些隔熱選購(gòu)件可能已上市銷售，但事實(shí)是，不同類型的隔熱材料的性能會(huì)因其應(yīng)用工藝而有所不同。例如，已證實(shí)具有柔性聚烯烴熱縮外層的軟管在低溫應(yīng)用中的性能要優(yōu)于帶有織物覆蓋層的隔熱軟管，而后者更適合于高溫流體應(yīng)用。如果軟管供應(yīng)商了解哪種材料最適合您的應(yīng)用以及原因，然后僅選擇經(jīng)過優(yōu)化可在您的最終使用環(huán)境中正常工作的隔熱軟管，那么您就可以選擇與其合作。

 

　　同樣重要的是，無論使用哪種隔熱材料，軟管都應(yīng)保持足夠的柔性，以優(yōu)化鋪設(shè)和安裝。例如，軟管的最小彎曲半徑不應(yīng)隨選擇不同隔熱材料而變化，彎曲性能也不應(yīng)損害其絕緣性能。尋求可以合適的能夠維持所輸送流體的目標(biāo)溫度、操作靈活而又不太笨重的選項(xiàng)，例如hose featuring low thermal-conductivity aerogel <https://www.swagelok.com/zh-CN/product/hoses-and-flexible-tubing/hose-insulation> 隔熱材料。

 

　　最后，世偉洛克發(fā)現(xiàn)，真正能夠?yàn)閼?yīng)用提升效率的隔熱軟管就是要用為達(dá)到隔熱要求的隔熱材料軟管。一家合格的軟管供應(yīng)商應(yīng)能夠提供不同材料分層而非適合所有應(yīng)用的選購(gòu)件，從而經(jīng)濟(jì)高效地滿足您應(yīng)用的溫度要求。在最理想的情況下，他們將要求您提供應(yīng)用的參數(shù)，然后利用一個(gè)公式確定適合您的特定軟管需求的隔熱層確切厚度。

 

 

　　希望降低成本的半導(dǎo)體制造商應(yīng)著眼于處于其工藝核心地位的昂貴制造設(shè)備以外的器件，以便在整個(gè)工廠制造中尋找不太明顯但具有較高成本效益的改進(jìn)機(jī)會(huì)。評(píng)估用于低溫流體輸送應(yīng)用的軟管套件并選擇合適的軟管隔熱選購(gòu)件是非常值得的事。