三十年的傳承與積淀，兩年一次的相聚與暢談。8月5日，以“先進(jìn)光電技術(shù)·智能綠色制造”為主題的第十六屆全國MOCVD學(xué)術(shù)會(huì)議在安徽屯溪盛大開幕。

中國科學(xué)院院士、南京大學(xué)鄭有炓教授，中國科學(xué)院院士、西安電子科技大學(xué)郝躍教授，中國科學(xué)院院士、南昌大學(xué)副校長江風(fēng)益教授，廈門大學(xué)校長張榮教授，第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長吳玲，中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所李晉閩研究員，中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所陳弘達(dá)研究員，南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院院長金飚兵教授，中國有色金屬學(xué)會(huì)理事長賈明星，北京大學(xué)理學(xué)部副主任沈波教授，中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所楊輝研究員，中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所副所長徐科研究員，中科院長春光機(jī)所黎大兵研究員，山東大學(xué)徐現(xiàn)剛教授，廈門大學(xué)康俊勇教授，中科院上海技物所王建祿研究員，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微電子學(xué)院執(zhí)行院長龍世兵教授，南京大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院副院長劉斌教授，安徽大學(xué)電子信息工程學(xué)院院長黃志祥教授，長治高新區(qū)管委會(huì)副主任賈曉偉，三安光電股份有限公司總經(jīng)理林科闖等一大批業(yè)界資深專家、教授和優(yōu)秀中青年學(xué)者出席本次會(huì)議。來自MOCVD技術(shù)領(lǐng)域國內(nèi)外頂級(jí)專家、機(jī)構(gòu)嘉賓、學(xué)者、企業(yè)家代表500余人參與本次學(xué)術(shù)盛會(huì)。大會(huì)開幕式由廈門大學(xué)校長張榮主持。

“一代材料，一代器件，一代工藝，一代裝備”。裝備強(qiáng)則國強(qiáng)。當(dāng)前階段,高端裝備與核心裝置是“大國重器”,是我國成為制造強(qiáng)國的基礎(chǔ)。高端科技就是現(xiàn)代的國之利器。MOCVD是LED生產(chǎn)過程中的核心裝備，是決定LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展技術(shù)水平的關(guān)鍵因素。由于技術(shù)含量高，MOCVD設(shè)備站在了LED行業(yè)價(jià)值鏈的頂端，MOCVD設(shè)備是專利技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，而其核心技術(shù)大多掌握在少數(shù)企業(yè)手中。國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商近年來不斷加大自主研發(fā)力度，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化比重逐步提升，一些行業(yè)龍頭企業(yè)也正迎來發(fā)展拐點(diǎn)。特別是近年來國產(chǎn)化的大力推進(jìn)，國產(chǎn)MOCVD設(shè)備開始贏得了國內(nèi)LED芯片廠商的認(rèn)可。

中國是當(dāng)前全球最大的集成電路消費(fèi)國，半導(dǎo)體設(shè)備與材料多年來一直被視為中國集成電路產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展的一大瓶頸和短板。隨著國內(nèi)新一輪集成電路投資擴(kuò)產(chǎn)熱潮的興起，半導(dǎo)體設(shè)備需求也水漲船高。MOCVD作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最為核心的重大裝備之一，其技術(shù)進(jìn)步與裝備智能化、國產(chǎn)化成為產(chǎn)業(yè)界共同關(guān)注的話題。

本屆會(huì)議由國家科學(xué)技術(shù)部指導(dǎo)，安徽省教育廳、安徽省科學(xué)技術(shù)廳、江蘇省科學(xué)技術(shù)廳支持，中國有色金屬學(xué)會(huì)、南京大學(xué)、廈門大學(xué)、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟（CSA）、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)聯(lián)合主辦，江蘇省光電信息功能材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、江蘇省2011"固態(tài)照明與節(jié)能電子學(xué)"協(xié)同創(chuàng)新中心、教育部光電材料與芯片技術(shù)工程中心、半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司共同承辦，安徽大學(xué)、黃山學(xué)院信息工程學(xué)院、西安電子科技大學(xué)蕪湖研究院全力協(xié)辦。

其中，中微公司、亞格盛、中科潞安、AIXTRON、Crosslight、德智新材、南京集芯光電、博藍(lán)特、西安電子科技大學(xué)蕪湖研究院、Mbraun、華邦化學(xué)、Horiba 堀場、先普、翱晶半導(dǎo)體、納維科技、MalvernPanalytical、志橙半導(dǎo)體、隆興達(dá)科技、邁塔光電、尚勤光電、普發(fā)真空、德儀、德國WITec、奧趨光電、中晟光電、元旭光電、正通遠(yuǎn)恒、晶湛半導(dǎo)體、頤光科技、桂林雷光、米格實(shí)驗(yàn)室、芯鵬致力等來自國內(nèi)外的半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備、襯底材料、外延芯片、測(cè)量、檢測(cè)、石墨、Mo源以及高純氣體等材料國內(nèi)外知名廠商參加此次會(huì)議，助力MOCVD關(guān)鍵設(shè)備及技術(shù)產(chǎn)學(xué)研用合作，加速先進(jìn)光電技術(shù)與智能綠色制造國產(chǎn)化進(jìn)程。會(huì)議圍繞“先進(jìn)光電技術(shù)·智能綠色制造”這一主題開展廣泛交流，了解發(fā)展動(dòng)態(tài)，促進(jìn)相互合作。

南京大學(xué)教授、中國科學(xué)院院士鄭有炓，中國有色金屬學(xué)會(huì)理事長賈明星，第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長吳玲，三安光電股份有限公司總經(jīng)理林科闖先后為大會(huì)致開幕詞。

鄭有炓院士致辭時(shí)表示，本次會(huì)議具有里程碑式意義，而且會(huì)議涌現(xiàn)了很多新面孔，產(chǎn)業(yè)發(fā)展不斷進(jìn)步。當(dāng)前5G技術(shù)驅(qū)動(dòng)牽引，第三代半導(dǎo)體的發(fā)展迅速，鄭院士分享了當(dāng)前5G信息時(shí)代的技術(shù)產(chǎn)業(yè)變化與形勢(shì)以及可能的業(yè)態(tài)變化。

他表示，5G信息技術(shù)時(shí)代第三代半導(dǎo)體迎來新發(fā)展機(jī)遇，其中新型基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)背景下車聯(lián)網(wǎng)、工聯(lián)網(wǎng)、智能制造、軌道交通等正在跨界融合，5G網(wǎng)絡(luò)、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、數(shù)據(jù)中心，無線基站等發(fā)展迅速，而寬禁帶半導(dǎo)體技術(shù)與第一二代半導(dǎo)體優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)，協(xié)同支撐，射頻芯片、功率芯片、傳感芯片、發(fā)光芯片等快速發(fā)展，MOCVD產(chǎn)業(yè)面臨新機(jī)遇、新挑戰(zhàn)、新發(fā)展。第三代半導(dǎo)體也成為支撐5G信息化發(fā)展，可持續(xù)發(fā)展一個(gè)新的起點(diǎn)，發(fā)展前景明朗。

中國有色金屬學(xué)會(huì)理事長賈明星致辭時(shí)表示，MOCVD技術(shù)是半導(dǎo)體物理等學(xué)科交叉的新型科學(xué)技術(shù)，目前已在各類重要的化合物半導(dǎo)體材料及其器件制備上得到了廣泛應(yīng)用，極大推動(dòng)了各類光電子和微電子器件的發(fā)展和產(chǎn)業(yè)化。但也要看到我國高性能半導(dǎo)體材料的制備技術(shù)仍然處于跟跑階段，盡快突破半導(dǎo)體材料及器件制備的關(guān)鍵技術(shù)是從事半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)廣大科技工作者的光榮使命和歷史責(zé)任。此次會(huì)議如期召開，相信對(duì)我國MOCVD及第三代半導(dǎo)體的學(xué)術(shù)研究與產(chǎn)業(yè)發(fā)展將會(huì)起到有利的推動(dòng)作用。

第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、國家半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟理事長吳玲為大會(huì)致辭，她表示，從第三代半導(dǎo)體的發(fā)展來看，到了一個(gè)重要的機(jī)遇期，希望能在不遠(yuǎn)的將來產(chǎn)業(yè)全創(chuàng)新鏈進(jìn)入世界先進(jìn)行列。我們?nèi)匀幻媾R很大的挑戰(zhàn)，其中人才是非常重要的因素，急需產(chǎn)業(yè)技術(shù)人才，人才培養(yǎng)要放到第一位，也還有很長的路要走。我國產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系完整，產(chǎn)業(yè)鏈已經(jīng)啟動(dòng)，但是產(chǎn)業(yè)鏈條是否通暢，產(chǎn)業(yè)協(xié)同發(fā)展是否科學(xué)，還有很多問題要解決。她還表示，從國家層面來看，即將開啟的“十四五”，半導(dǎo)體材料將是一個(gè)重要方向，也將考慮推出示范工程。思考如何通過應(yīng)用加快迭代研發(fā)，凝練出關(guān)鍵共性技術(shù)，推動(dòng)產(chǎn)業(yè)健康可持續(xù)發(fā)展，非常重要。希望通過這次會(huì)議，大家能充分交流，在業(yè)界的共同努力下，迎接新的發(fā)展機(jī)遇。

第三代半導(dǎo)體材料的發(fā)展與產(chǎn)業(yè)一直緊密的聯(lián)系在一起，三安光電總經(jīng)理林科闖致辭時(shí)表示，MOCVD技術(shù)非常重要，從三安光電的角度希望可以在化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域做大做強(qiáng)，所以非常關(guān)注MOCVD的應(yīng)用領(lǐng)域。經(jīng)過多年努力，從深紫外到遠(yuǎn)紅外，在LED、射頻等領(lǐng)域，三安光電都投入巨大。時(shí)代給了業(yè)界機(jī)遇，也帶來了挑戰(zhàn)，在寬禁帶半導(dǎo)體的發(fā)展過程中，企業(yè)還是要沖在前面。同時(shí)，產(chǎn)業(yè)發(fā)展也需要材料和技術(shù)的支撐，希望國產(chǎn)MOCVD可以不斷升級(jí)，更好的應(yīng)用。

隨后的主題報(bào)告環(huán)節(jié)，中國科學(xué)院院士鄭有炓與北京大學(xué)教授沈波共同主持。中國科學(xué)院院士、西安電子科技大學(xué)郝躍教授帶來了“從半導(dǎo)體科技談創(chuàng)新體系建設(shè)”的主題報(bào)告；中國科學(xué)院院士、南昌大學(xué)副校長江風(fēng)益教授分享了“純LED照明進(jìn)展”；中國科學(xué)院半導(dǎo)體照明研發(fā)中心、半導(dǎo)體照明聯(lián)合創(chuàng)新國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室主任李晉閩研究員帶來了“疫情下的半導(dǎo)體深紫外LED技術(shù)與發(fā)展趨勢(shì)”的主題報(bào)告；廈門大學(xué)校長張榮教授介紹了超寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵的外延生長。幾大精彩主題報(bào)告，從技術(shù)、產(chǎn)業(yè)，趨勢(shì)的角度，廣度與深度結(jié)合，高屋建瓴，酣暢淋漓，帶來一場知識(shí)與認(rèn)知的激蕩。

后疫情時(shí)代凸顯半導(dǎo)體科技戰(zhàn)略地位，芯片將是相當(dāng)長一段時(shí)間內(nèi)大國博弈的最前沿。芯片“卡脖子”問題成為長時(shí)期的重大挑戰(zhàn)。郝躍院士在報(bào)告中詳細(xì)分享了當(dāng)前半導(dǎo)體芯片技術(shù)的博弈現(xiàn)狀，以及中美半導(dǎo)體之間的發(fā)展態(tài)勢(shì)。同時(shí)分享了半導(dǎo)體芯片在射頻、半導(dǎo)體照明、通信等領(lǐng)域的應(yīng)用狀況。并重點(diǎn)分享了電子器件的重要進(jìn)展，包括GaN肖特基二極管，GaN低壓射頻HEMT器件，GaN毫米波超高頻HEMT器件，GaN圓片級(jí)異質(zhì)集成技術(shù)的進(jìn)展。

他表示，未來我們要建立自己的創(chuàng)新體系，比如堅(jiān)持以科技促產(chǎn)品，以產(chǎn)品促創(chuàng)新能力，堅(jiān)持需求牽引、市場與科技創(chuàng)新雙驅(qū)動(dòng)，堅(jiān)持產(chǎn)學(xué)研合作共贏，堅(jiān)持國際化開放，體系化布局。強(qiáng)化創(chuàng)新文化、研發(fā)投入、有序競爭、機(jī)制體制等。

當(dāng)前市場主流是熒光型LED照明技術(shù)，藍(lán)光LED激發(fā)稀土熒光粉，可以解決傳統(tǒng)光源效率低下的問題，為節(jié)能減排做出了重要貢獻(xiàn)，但也存在著光效與色溫難以兼顧，存在富藍(lán)光風(fēng)險(xiǎn)，光譜固定不可調(diào)等問題。正在發(fā)展中的純LED照明技術(shù)由多色LED混合獲得白光，僅有電致發(fā)光過程，純粹的LED照明技術(shù)擁有兼顧光效、顯指和色溫，藍(lán)光可控/實(shí)現(xiàn)健康照明，光譜可調(diào)/實(shí)現(xiàn)智慧照明等諸多優(yōu)點(diǎn)。

江風(fēng)益院士在報(bào)告中表示發(fā)展純LED照明技術(shù)是提高光品質(zhì)，實(shí)現(xiàn)按需照明，節(jié)能稀土資源，實(shí)現(xiàn)高速可見光通信的需要。他從材料、光效技術(shù)、MOCVD裝備，應(yīng)用案例等多個(gè)維度分享了當(dāng)前純LED照明技術(shù)和應(yīng)用進(jìn)展。他認(rèn)為純LED照明技術(shù)已達(dá)到實(shí)用水平，市場推廣表明，目前水平在超低色溫照明市場有競爭力。純LED照明技術(shù)仍有很大發(fā)展空間，關(guān)鍵在于全方位、大幅度提升各種顏色LED，特別是黃、綠光LED的光效。硅基氮化物材料質(zhì)量取得新進(jìn)展，為發(fā)展UVC和Micro LED提供了技術(shù)基礎(chǔ)。

今年突如其來的新冠肺炎疫情席卷全球，給各國造成嚴(yán)重的生命財(cái)產(chǎn)損失，防范化解重大疫情和突發(fā)公共衛(wèi)生風(fēng)險(xiǎn)的重要性不言而喻。在疫情防控戰(zhàn)中，深紫外LED備受關(guān)注。李晉閩研究員在報(bào)告中全面分享了深紫外LED與疫情防控的狀況，以及從材料到裝備深紫外LED技術(shù)最新進(jìn)展、挑戰(zhàn)與發(fā)展建議。

他表示氮化物深紫外LED作為下一代紫外光源，具有廣闊的應(yīng)用前景。紫外LED應(yīng)用市場正面臨快速增長的良好機(jī)遇，及早部署，把握先機(jī)，方可有望成為未來的市場領(lǐng)導(dǎo)者。深紫外LED產(chǎn)業(yè)面臨著從裝備、外延、芯片到封裝中的一系列技術(shù)挑戰(zhàn)，尤其以裝備和外延最為核心，開發(fā)出高性能深紫外MOCVD裝備是突破深紫外LED產(chǎn)業(yè)瓶頸的關(guān)鍵。

寬禁帶半導(dǎo)體材料具有耐壓、低損耗、高頻率、耐熱、高穩(wěn)定性等特點(diǎn)，氧化鎵作為新興超寬禁帶半導(dǎo)體，具有禁帶寬度大、擊穿場強(qiáng)高、抗輻射損傷、生長成本低等優(yōu)點(diǎn)，是超高壓功率器件和深紫外光電子器件的優(yōu)選材料。廈門大學(xué)校長張榮教授在報(bào)告中，從材料外延技術(shù)、應(yīng)用需求等多個(gè)角度，前沿與應(yīng)用結(jié)合，詳細(xì)分享了當(dāng)前氧化鎵國內(nèi)外最新進(jìn)展。

他表示，氧化鎵超寬帶隙半導(dǎo)體材料在日盲探測(cè)和功率電子領(lǐng)域具有重要應(yīng)用價(jià)值，但極具挑戰(zhàn)。要實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量Ga2O3 外延、摻雜及高組分合金精控制備，可結(jié)合器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，初步研制出氧化鎵基日盲探測(cè)器及功率器件。

除了精彩的開幕式報(bào)告，大會(huì)還同期設(shè)置了“激光器材料與器件”、“LED及探測(cè)器材料與器件”、“電力電子器件”及“其他器件及應(yīng)用”四個(gè)主題分會(huì)，并有POSTER交流和企業(yè)展覽展示。前沿研究內(nèi)容分享交相輝映，讓與會(huì)的嘉賓和青年科研代表享受到MOCVD技術(shù)“科研盛宴”。更多精彩，掃碼了解。

【特別說明】

此次大會(huì)同時(shí)開通了開閉幕式精彩主題報(bào)告現(xiàn)場直播，更有圖片直播實(shí)時(shí)呈現(xiàn)，與業(yè)界共享精彩內(nèi)容，更多詳細(xì)豐富內(nèi)容可點(diǎn)擊以下鏈接觀看：

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