公告顯示，3月11日，芯刻微公司向盛吉盛支付10%首期貨款購(gòu)入該光刻機(jī)，剩余90%六個(gè)月內(nèi)付清。后續(xù)公司將啟動(dòng)設(shè)備的運(yùn)輸及相關(guān)安裝調(diào)試等工作。

公司表示，集成電路制造用ArF濕法光刻膠產(chǎn)品技術(shù)要求高、投資需求大，公司為加速集成電路制造用高端光刻膠全品類的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，減少上市公司業(yè)績(jī)壓力，通過(guò)參股子公司芯刻微進(jìn)行Ar濕法光刻膠的研發(fā)，并與協(xié)議各方承諾未來(lái)通過(guò)向上市公司進(jìn)行股權(quán)轉(zhuǎn)讓或技術(shù)轉(zhuǎn)讓等方式避免可能的同業(yè)競(jìng)爭(zhēng)。

值得一提的是，這已不是上海新陽(yáng)第一次購(gòu)入光刻膠產(chǎn)品。3月8日，上海新陽(yáng)公告稱，經(jīng)各方積極協(xié)商、運(yùn)作，ASML-1400光刻機(jī)設(shè)備于今日已進(jìn)入合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司場(chǎng)地，后續(xù)將進(jìn)行安裝調(diào)試等相關(guān)工作。公司采購(gòu)的ASML干法光刻機(jī)設(shè)備順利交付，對(duì)加快193nm ArF干法光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)進(jìn)度有積極影響。

天眼查顯示，合作方北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心（北京）有限公司大股東為芯鏈融創(chuàng)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展（北京）有限公司，后者由北京凱世通半導(dǎo)體有限公司在內(nèi)的26個(gè)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體優(yōu)質(zhì)公司共同出資組建。中芯國(guó)際、北京亦莊則占比各為25%并列為第二大股東。

此外，近期不少上市公司都在購(gòu)買光刻機(jī)。2021年1月19日晚，晶瑞股份公告稱，經(jīng)公司多方協(xié)商、積極運(yùn)作，順利購(gòu)得ASML XT 1900 Gi型光刻機(jī)一臺(tái)。3月3日晚，中芯國(guó)際發(fā)布公告稱，2021年2月1日，其與光刻機(jī)設(shè)備大廠阿斯麥（ASML）簽訂了批量設(shè)備采購(gòu)協(xié)議，協(xié)議的期限從原來(lái)的2018年1月1日至2020年12月31日，延長(zhǎng)為從2018年1月1日至2021年12月31日。根據(jù)此批量采購(gòu)協(xié)議，訂單總金額約12億美元。此外英諾賽科今年也公布購(gòu)入光刻機(jī)設(shè)備。

自去年下半年以來(lái)，芯片缺貨漲價(jià)已經(jīng)成為半導(dǎo)體行業(yè)的主旋律。而光刻膠作為半導(dǎo)體光刻工藝的核心材料，決定了半導(dǎo)體圖形工藝的精密程度和良率，成為了其中最受矚目的環(huán)節(jié)之一。

中金公司曾指出，半導(dǎo)體設(shè)備和材料是高端制造業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)，結(jié)合中芯國(guó)際潛在成熟制程獲取美國(guó)設(shè)備許可證，建議關(guān)注上游設(shè)備及原材料的機(jī)會(huì)。