日前，至純科技旗下合肥至微半導(dǎo)體有限公司已收到排污許可證，這意味著其晶圓再生項(xiàng)目正式進(jìn)入試生產(chǎn)階段。項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后將形成年產(chǎn)168萬(wàn)片晶圓再生和120萬(wàn)件半導(dǎo)體腔體零部件再生產(chǎn)能。
至純科技表示，該工廠為服務(wù)于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體高階市場(chǎng)的首條投產(chǎn)12英寸晶圓再生產(chǎn)線，且目前已獲得用戶意向訂單，期待著進(jìn)入接下來(lái)的正式生產(chǎn)階段。項(xiàng)目完全達(dá)產(chǎn)后，將形成年產(chǎn)168萬(wàn)片晶圓再生和120萬(wàn)件半導(dǎo)體腔體零部件再生產(chǎn)能。
