日前，SK海力士位于京畿道利川市的M16半導(dǎo)體制造工廠發(fā)生毒氣泄露事故，導(dǎo)致三名工人受傷。

 

韓國(guó)警方經(jīng)調(diào)查認(rèn)為，氫氟酸在維護(hù)公司正在試用環(huán)境分析設(shè)備時(shí)泄漏。據(jù)SK海力士表示，此次事故是在對(duì)新的M16工廠設(shè)備進(jìn)行檢查時(shí)發(fā)生的，泄露事故于泄露當(dāng)日已處理妥善，只是少量泄露，對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)沒(méi)有影響。

 

三名受傷人員中，一名工人的胳膊和腿被燒傷。另有兩名雇員因吸入氟酸氣體而被轉(zhuǎn)移至附近醫(yī)院，3名員工均無(wú)生命危險(xiǎn)。

 

據(jù)了解，氫氟酸(Hydrofluoric Acid)是氟化氫氣體的水溶液，清澈，無(wú)色、發(fā)煙的腐蝕性液體，有劇烈刺激性氣味。氫氟酸是一種弱酸，具有極強(qiáng)的腐蝕性，能強(qiáng)烈地腐蝕金屬、玻璃和含硅的物體。如吸入蒸氣或接觸皮膚會(huì)造成難以治愈的灼傷。實(shí)驗(yàn)室一般用螢石(主要成分為氟化鈣)和濃硫酸來(lái)制取，需要密封在塑料瓶中，并保存于陰涼處。

 

由于氫氟酸溶解氧化物的能力，它在鋁和鈾的提純中起著重要作用。氫氟酸也用來(lái)蝕刻玻璃，可以雕刻圖案、標(biāo)注刻度和文字;半導(dǎo)體工業(yè)使用它來(lái)除去硅表面的氧化物，在煉油廠中它可以用作異丁烷和正丁烯的烷基化反應(yīng)的催化劑，除去不銹鋼表面的含氧雜質(zhì)的“浸酸”過(guò)程中也會(huì)用到氫氟酸。氫氟酸也用于多種含氟有機(jī)物的合成，比如Teflon(聚四氟乙烯)還有氟利昂一類的致冷劑。

 

資料顯示，SK海力士M16工廠于今年2月竣工，于兩年前開(kāi)工建設(shè)，累計(jì)投資達(dá)3.5萬(wàn)億韓元，主要用于生產(chǎn)DRAM產(chǎn)品。新工廠的建筑面積大57000平方米，是SK海力士在全球最大的生產(chǎn)基地。SK海力士首次在M16引進(jìn)EUV光刻設(shè)備，并從今年下半年開(kāi)始生產(chǎn)1αnm DRAM產(chǎn)品。當(dāng)時(shí)，SK集團(tuán)會(huì)長(zhǎng)崔泰源、副會(huì)長(zhǎng)崔再源、SK海力士CEO李錫熙等多位SK集團(tuán)和SK海力士的高管出席了竣工儀式。