日前,上海精測(cè)半導(dǎo)體國(guó)內(nèi)首臺(tái)12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測(cè)量設(shè)備(OCD)與國(guó)內(nèi)唯一12寸全自動(dòng)電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備(Review SEM)順利出機(jī)。
上海精測(cè)半導(dǎo)體母公司精測(cè)電子7月13日披露的投資者調(diào)研紀(jì)要中指出,上述兩款出機(jī)產(chǎn)品的客戶為晶圓代工廠商中芯國(guó)際。前不久,東方晶源首臺(tái)關(guān)鍵尺寸量測(cè)設(shè)備(CD-SEM)也宣布斬獲訂單并出機(jī)中芯國(guó)際。
圖片來(lái)源:上海精測(cè)半導(dǎo)體
據(jù)介紹,上海精測(cè)半導(dǎo)體12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測(cè)量機(jī)臺(tái)(OCD)是該類型的國(guó)內(nèi)首臺(tái)機(jī)臺(tái),主要用于45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測(cè),并可以延伸支持上述先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的快速線寬測(cè)量。12寸全自動(dòng)電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備(Review SEM)是全自動(dòng)晶圓在線電子束缺陷復(fù)查和分類設(shè)備,對(duì)光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備的結(jié)果進(jìn)行高分辨率復(fù)查、分析和分類。
資料顯示,上海精測(cè)半導(dǎo)體成立于2018年7月,為精測(cè)電子旗下子公司,主要聚焦半導(dǎo)體前道檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域, 致力于半導(dǎo)體前道量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)及生產(chǎn),現(xiàn)已形成了膜厚/OCD 量測(cè)設(shè)備、電子束量測(cè)設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備三大產(chǎn)品系列。
精測(cè)電子投資者調(diào)研紀(jì)要信息顯示,上海精測(cè)膜厚產(chǎn)品(含獨(dú)立式膜厚設(shè)備)已取得國(guó)內(nèi)一線客戶的批量重復(fù)訂單、OCD量測(cè)設(shè)備已取得訂單并已實(shí)現(xiàn)交付,半導(dǎo)體電子束檢測(cè)設(shè)備eViewTM 全自動(dòng)晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備已正式交付國(guó)內(nèi)客戶。其余儲(chǔ)備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認(rèn)證以及拓展的過(guò)程中。
據(jù)了解,精測(cè)電子是國(guó)內(nèi)較早從事平板顯示檢測(cè)系統(tǒng)業(yè)務(wù)公司之一,在平板顯示領(lǐng)域已取得一定的市場(chǎng)地位,近年來(lái)正加速向半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域拓展。
2020年年報(bào)顯示,精測(cè)電子目前已基本形成在半導(dǎo)體檢測(cè)前道、后道全領(lǐng)域的布局——子公司武漢精鴻主要聚焦自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備(ATE)領(lǐng)域(主要產(chǎn)品是存儲(chǔ)芯片測(cè)試設(shè)備);子公司W(wǎng)INTEST以及其在武漢的全資子公司偉恩測(cè)試現(xiàn)階段主要聚焦驅(qū)動(dòng)芯片測(cè)試設(shè)備領(lǐng)域;子公司上海精測(cè)主要聚焦半導(dǎo)體前道檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域。