工商信息顯示, 上市公司華懋科技通過東陽(yáng)凱陽(yáng)科技創(chuàng)新發(fā)展合伙企業(yè),間接持有徐州博康24%的股份。根據(jù)華懋科技2021年07月21日披露的公告《華懋(廈門)新材料科技股份有限公司關(guān)于公司參與的合伙企業(yè)對(duì)外投資進(jìn)展公告》,華為哈勃(即公告中提到的合格投資者)的投資金額為3億元,為華為哈勃?dú)v史上最大單筆半導(dǎo)體投資。

 

光刻膠被稱為半導(dǎo)體材料皇冠上的明珠,由于國(guó)產(chǎn)化率低同時(shí)產(chǎn)品保質(zhì)期只有6-8個(gè)月,光刻膠成了目前國(guó)內(nèi)芯片制造領(lǐng)域最卡脖子的材料之一。2021年5月27日,一則信越化學(xué)已向中國(guó)大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠,且已通知更小規(guī)模晶圓廠停止供貨KrF光刻膠的消息震驚產(chǎn)業(yè)界。光刻膠缺貨在信越停產(chǎn)之前已有表現(xiàn),信越事故加劇市場(chǎng)供需失衡,國(guó)產(chǎn)替代的迫切需求再次被擺在聚光燈下。

 

公開資料顯示,徐州博康具有自主完整的光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈,已實(shí)現(xiàn)從單體材料、專用樹脂、光酸以及最終光刻膠產(chǎn)品的全品類國(guó)產(chǎn)化。與其他半導(dǎo)體光刻膠廠商相比,徐州博康的顯著特色是光刻膠單體材料全部自供,光刻膠單體是光刻膠實(shí)現(xiàn)光刻膠功能最核心的原材料,是卡脖子材料中的卡脖子材料,徐州博康是中國(guó)目前唯一可以規(guī)?；a(chǎn)中高端光刻膠單體材料的企業(yè),2017年起,開始承擔(dān)國(guó)家863項(xiàng)目的國(guó)際02項(xiàng)目中的《193納米光刻膠的開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化》,并于2019年正式被國(guó)家確定為光刻膠單體的國(guó)標(biāo)制定單位。

早些年中國(guó)半導(dǎo)體光刻膠企業(yè)的生存環(huán)境并不好,首先是受到國(guó)外的技術(shù)封鎖。從徐州博康董事長(zhǎng)傅志偉的公開專訪中提到的一個(gè)小插曲便可見一斑。一次和美國(guó)、日本的兩家著名公司合作,由博康負(fù)責(zé)提供原材料,日本公司做下游產(chǎn)品,最后合成定制的產(chǎn)品供美國(guó)公司使用。三方約在日本開會(huì)。傅志偉介紹完了,美國(guó)人就直接說了一句“請(qǐng)中國(guó)人離場(chǎng)。”日本人相對(duì)比較客氣:“傅桑,請(qǐng)出去休息一下。”因?yàn)樗麄円M(jìn)行下一階段的技術(shù)討論。“我們就到外面去等,當(dāng)時(shí)就覺得很郁悶,有種很屈辱的感覺,在某些領(lǐng)域中國(guó)人是完全被排擠在外的。”傅志偉回憶說,“可能平時(shí)大家交流的時(shí)候,也會(huì)聽說類似的事情。但當(dāng)我們置身其中時(shí),那種民族情感是很強(qiáng)烈的。”經(jīng)歷了這次事件,傅志偉和初創(chuàng)團(tuán)隊(duì)就下定決心要做中國(guó)的光刻產(chǎn)品。事實(shí)上當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)晶圓廠對(duì)國(guó)產(chǎn)材料替代的意愿也非常薄弱,在國(guó)內(nèi)客戶拓展方面也是困難重重。自從貿(mào)易戰(zhàn)以來,華為付出慘痛代價(jià)之后,國(guó)內(nèi)各界開始空前重視供應(yīng)鏈安全,下游客戶開始主動(dòng)扶持國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體材料供應(yīng)商,舉國(guó)體制加持下的半導(dǎo)體行業(yè)迎來黃金發(fā)展期。

 

最近幾年徐州博康也借助產(chǎn)業(yè)資本和政府的支持進(jìn)入了快速發(fā)展階段,憑借光刻膠單體技術(shù)上的積累,公司目前已成功開發(fā)出10余個(gè)高端光刻膠產(chǎn)品系列,包括多種電子束膠、193nm ArF干法光刻膠、248nm KrF正負(fù)型光刻膠、365nm I線正負(fù)型光刻膠及GHI超厚負(fù)膠。公開資料顯示,徐州博康新建年產(chǎn)1100噸光刻材料及1萬(wàn)噸電子溶劑新工廠已于2021年6月份正式投產(chǎn),項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后,可實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)值20億元,這也是中國(guó)目前第一個(gè)可以規(guī)?；a(chǎn)中高端光刻膠的生產(chǎn)基地。