8月31日，日本住友化學(xué)在其官網(wǎng)宣布決定擴(kuò)大其用于先進(jìn)半導(dǎo)體工藝的光刻膠生產(chǎn)能力。

 

圖片來(lái)源：住友化學(xué)官網(wǎng)截圖

 

新聞稿指出，住友化學(xué)將在大阪工廠（日本大阪河野谷）擴(kuò)建浸入式ArF和EUV光刻膠生產(chǎn)線，同時(shí)，還計(jì)劃在其全資子公司韓國(guó)東宇精細(xì)化學(xué)株式會(huì)社益山廠建立一座新的ArF浸沒(méi)光刻用光刻膠生產(chǎn)工廠。

 

住友化學(xué)表示，大阪工廠計(jì)劃于2023財(cái)年上半年開(kāi)始投產(chǎn)，東宇精細(xì)化學(xué)益山工廠計(jì)劃于2024財(cái)年上半年開(kāi)始投產(chǎn)。

 

由于大阪工廠的產(chǎn)能擴(kuò)建和此次新建工廠，住友化學(xué)的ArF光刻膠產(chǎn)能到2024年度將提高至2019年度的2.5倍。