相較韓國半導體產業(yè)最早開始采用EUV光刻技術，相關產業(yè)存儲器與晶圓代工時程相對落后。但據韓媒報道，近期中國臺灣地區(qū)半導體企業(yè)加緊投資EUV光刻技術，進一步擴大競爭優(yōu)勢。
目前投資中國臺灣地區(qū)最大外商的美商存儲器大廠美光科技，除決定今年底美國總部安裝ASML最新曝光設備NXE：3600D，美光還計劃在臺中DRAM工廠安裝相同EUV光刻設備。代表美光科技將在中國臺灣地區(qū)生產第一顆EUV技術DRAM，并持續(xù)增加投資。
除了美光科技積極部署EUV光刻技術，全球DRAM產業(yè)排名第四大的南亞科技也于4月宣布，投資3000億元新臺幣在新北市興建含EUV光刻設備的DRAM產線，預計2024年量產營運。
晶圓代工龍頭臺積電的EUV光刻設備產業(yè)影響力也有增加。今年第二季起，采用EUV光刻設備的7納米及更先進制程技術占公司總營收49%，正從曝光設備廠商ASML采購更多EUV光刻設備，增加研發(fā)投入。包括臺積電自行生產EUV光罩，以提升良率和制程效率。
