期間，由北京一徑科技有限公司、廣東芯聚能半導(dǎo)體有限公司、廣東晶科電子股份有限公司、上海瞻芯電子科技有限公司協(xié)辦支持的“車用半導(dǎo)體創(chuàng)新合作峰會“如期舉行。

 

傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息轉(zhuǎn)換為電信號或其他所需形式的信息輸出。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器，具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。其使傳感器應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)生了顛覆性變化。進入21世紀(jì)以來，MEMS技術(shù)以超高速創(chuàng)新發(fā)展。比如慣性MEMS，光MEMS，生物醫(yī)療MEMS，射頻MEMS、壓力傳感器、氣體傳感器、麥克風(fēng)等。

會上，華東光電集成器件研究所總工程師展明浩做了題為“MEMS傳感器發(fā)展現(xiàn)狀及在自動駕駛中應(yīng)用”的線上主題報告，結(jié)合MEMS傳感器的發(fā)展，分享了MEMS傳感器在自動駕駛中的應(yīng)用以及華東光電集成器件研究所MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)情況。

隨著智能汽車的發(fā)展，MEMS傳感器在自動駕駛中的應(yīng)用也在發(fā)展。2022年，超過50%的新車將實現(xiàn)車聯(lián)網(wǎng)/智能網(wǎng)聯(lián)，2022年中國智能網(wǎng)聯(lián)市場預(yù)計將達到1350億元。未來自動駕駛將融合自主式和網(wǎng)聯(lián)化兩種方式，兩種技術(shù)互為補充實現(xiàn)自動駕駛。

感知是智能自動駕駛的前提，外界環(huán)境的高靈敏度感知技術(shù)是智能網(wǎng)聯(lián)汽車基礎(chǔ)關(guān)鍵技術(shù)之一，它是通過安裝在智能網(wǎng)聯(lián)汽車及其周邊的傳感器及網(wǎng)絡(luò)，對道路、車輛、行人、交通標(biāo)志、交通信號燈等復(fù)雜環(huán)境進行的實時、高效探測和識別技術(shù)，關(guān)系到自動駕駛的自主決策和協(xié)同控制。

 

自動駕駛中的MEMS應(yīng)用廣泛，如今的自動駕駛汽車全身布滿了傳感器：傳感器可以映射出周圍環(huán)境的特性、探測道路邊緣和車道標(biāo)線、識別標(biāo)志和紅綠燈，結(jié)合攝像頭、雷達和激光來識別行人；陀螺儀、加速計和高度計比單獨使用全球定位系統(tǒng)（GPS）衛(wèi)星提供了更精確的定位?；贛EMS傳感器體積小、集成度高等優(yōu)勢，在自動駕駛領(lǐng)域應(yīng)用越來越廣泛。

報告指出，微機電系統(tǒng)涉及物理學(xué)、半導(dǎo)體、光學(xué)、電子工程、化學(xué)、材料工程、機械工程、醫(yī)學(xué)、信息工程及生物工程等多學(xué)科。隨著新技術(shù)、新工藝的出現(xiàn)，以MEMS技術(shù)為代表的半導(dǎo)體行業(yè)，將加速進入快車道發(fā)展階段。MEMS技術(shù)將使傳感器應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)生顛覆性變化和更多場景的應(yīng)用。微機械技術(shù)在自動駕駛等未來領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用，促進自動駕駛早日走向人類生活。

在5G、自動駕駛、新型智慧城市等國家發(fā)展戰(zhàn)略促進下，將進一步促進MEMS上下游產(chǎn)業(yè)鏈的繁榮與發(fā)展。國內(nèi)MEMS廠家正逐步走向世界舞臺，在性能、市場空間等方面優(yōu)勢愈發(fā)明顯。

 

目前，華東光電集成器件研究所具有一條6英寸MEMS體硅SOI工藝平臺，形成了體硅SOI工藝技術(shù)體系包含了硅硅直接鍵合、高深寬比SOI結(jié)構(gòu)刻蝕釋放、高深寬比TSV刻蝕與填充、晶圓級真空封裝、熱應(yīng)力隔離結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵工藝技術(shù)。體硅SOI工藝可實現(xiàn)高精度微機械慣性器件工藝加工，滿足高精度、高深寬比、低應(yīng)力的工藝加工要求。形成了紅外溫度傳感器、氣體傳感器、流量傳感器、壓力傳感器，陀螺和加速度傳感器系列化產(chǎn)品。

 

展明浩，現(xiàn)任華東光電集成器件研究所總工程師，研究員。國家地方MEMS工程實驗室主任，安徽省MEMS工程實驗室主任、省MEMS工程中心副主任，合肥工業(yè)大學(xué)研究生導(dǎo)師，“安徽省“115”產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新團隊-MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新團隊帶頭人?，F(xiàn)從事半導(dǎo)體集成電路、微機械電子（MEMS）慣性傳感器、圖像傳感器、微波固態(tài)功率器件等研究和產(chǎn)業(yè)化。

 

 

（內(nèi)容根據(jù)現(xiàn)場資料整理，如有出入敬請諒解）