近日，第七屆國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇暨第十八屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇（IFWS & SSLCHINA 2021）的“氮化物半導(dǎo)體襯底與外延技術(shù)“分論壇上，中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所研究員張逸韻做了題為“氮化物‘異構(gòu)外延’”的主題報(bào)告。

報(bào)告詳細(xì)介紹了非晶玻璃上氮化物的異質(zhì)外延以及通過(guò)應(yīng)變工程實(shí)現(xiàn)高外延，涉及如何控制平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)、非晶子上近單晶氮化物薄膜的外延、非晶石墨烯-玻璃晶圓上的高效LED等內(nèi)容。

 

 

 

（內(nèi)容根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)資料整理，如有出入敬請(qǐng)諒解）