半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)消息：中晟光電設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱中晟光電）早在 2016-2017 年就與國(guó)內(nèi)深紫外 LED 領(lǐng)域處于領(lǐng)先地位的杰生半導(dǎo)體共同開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化了首臺(tái)國(guó)產(chǎn)深紫外 MOCVD 設(shè)備，ProMaxy® UV。近日，記者從中晟光電獲悉，目前杰生半導(dǎo)體已有 4 臺(tái)中晟光電深紫外 MOCVD 設(shè)備，用于消毒/殺菌醫(yī)療，白色家電，水凈化等深紫外 LED 應(yīng)用的大規(guī)模外延生產(chǎn)。

 

隨著深紫外 LED 應(yīng)用的不斷推廣，對(duì)功率轉(zhuǎn)化效率，良品率，及生產(chǎn)成本等提出了更高的要求。針對(duì)深紫外 LED 外延生長(zhǎng) AlN（鋁氮）的材料晶體質(zhì)量，表面形貌特征，及裂紋控制，對(duì)提高功率轉(zhuǎn)化效率和良品率具有重大的影響，中晟光電在ProMaxy® UV 自主創(chuàng)新的核心技術(shù)的基礎(chǔ)上，對(duì)反應(yīng)腔的溫場(chǎng)控制，反應(yīng)氣體的傳輸及均勻分布等技術(shù)進(jìn)行了進(jìn)一步創(chuàng)新和優(yōu)化，建立了既可外延生產(chǎn)高質(zhì)量的 AlN 基板，又能擴(kuò)大產(chǎn)能（至少 15x2），降低生產(chǎn)成本新的 MOCVD核心技術(shù)。為進(jìn)一步降低設(shè)備成本和提高產(chǎn)能，中晟光電于又推出了可配置 4 個(gè)反應(yīng)腔的ProMaxy® UV的機(jī)型。該機(jī)型既可每腔獨(dú)立外延生產(chǎn)深紫外 LED 全結(jié)構(gòu)，也能分腔集成外延生產(chǎn) AlN 基板和 LED 結(jié)構(gòu)。
 

“我們率先評(píng)估驗(yàn)證了中晟光電新的 MOCVD 技術(shù)和多腔配置的機(jī)型，不僅獲得了滿足大規(guī)模生產(chǎn)所需的高質(zhì)量 AlN 基板，而且顯著提高了產(chǎn)能，降低了外延生產(chǎn)成本。“杰生半導(dǎo)體有限公司董事長(zhǎng)康健說到，”杰生半導(dǎo)體很欣慰中晟光電能通過持續(xù)創(chuàng)新開發(fā)新技術(shù)和提供新機(jī)型滿足深紫外 LED 規(guī)模生產(chǎn)日益增長(zhǎng)的需要，是值得信賴的合作伙伴。“。目前國(guó)內(nèi)多家客戶均已采用了中晟光電新的 MOCVD 技術(shù)，獲得了高質(zhì)量、低成本的 AlN 基板，如表面特征 Rq<0.5nm，邊緣裂紋控制在<2mm。
 

中晟光電ProMaxy® UV 產(chǎn)品及新技術(shù)的突破獲得國(guó)內(nèi)客戶和市場(chǎng)的認(rèn)可，已成為 2020 年以來深紫外 LED 產(chǎn)能擴(kuò)充和技術(shù)研發(fā)的主要機(jī)型，并獲得了上海市高新技術(shù)成功轉(zhuǎn)化項(xiàng)目證書。“我們還將會(huì)通過持續(xù)的創(chuàng)新，提供新的技術(shù)解決方案，來滿足深紫外 LED 技術(shù)發(fā)展和規(guī)模生產(chǎn)不斷增長(zhǎng)的需求。” 中晟光電董事長(zhǎng)陳愛華博士強(qiáng)調(diào)地說到，“我們?yōu)槟芎涂蛻粢黄鸸餐苿?dòng)對(duì)人類健康、綠色環(huán)保等有廣泛應(yīng)用前景的深紫外 LED 產(chǎn)業(yè)發(fā)展深感榮幸和自豪。”