隨著世界能源的消耗增長，對電力的需求越來越大，從智能手機、電動汽車到工業(yè)機器人等一切設(shè)備都需要更高效率、更致密的功率半導(dǎo)體器件如二極管、絕緣柵雙極型晶體管（IGBT）、金氧半場效晶體管（MOSFET）和高電子遷移率晶體管（HEMT）等。寬帶隙功率器件使制造更高性能、更可靠的組件成為可能，這些組件可以使功率效率提升并在更高的溫度下工作。
制程良率是半導(dǎo)體企業(yè)競爭的重要因素，隨著先進的半導(dǎo)體設(shè)備的制程向更小、更復(fù)雜的方向發(fā)展，標(biāo)準(zhǔn)化分析與表征已經(jīng)不足以支持半導(dǎo)體的研發(fā)與制造。與此同時，隨著半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)變得越來越復(fù)雜，精確定位器件中的缺陷變得越來越困難，需要更多源的加工技術(shù)以及更高效的加工手段，并且結(jié)合高分辨的成像和微量分析技術(shù)來進行全面分析。
功率半導(dǎo)體器件的電性失效、功率半導(dǎo)體器件的物性失效分析等方面，先進電鏡的使用會為提高功率器件質(zhì)量提供快速和準(zhǔn)確的方法，配合可靠的工作流程，除了可以幫助廠商提高效率，同時也可以一定程度節(jié)省成本，可以說電鏡是半導(dǎo)體制程中不可忽略的高質(zhì)量幕后“推手”。
【直 播 預(yù) 告】
演講主題：“更快，更深，更全”--高效率雙束電鏡在半導(dǎo)體量產(chǎn)工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用
主講嘉賓：蔡琳玲 （賽默飛世爾科技PFA業(yè)務(wù)拓展經(jīng)理）
課程簡介：雙束電鏡是半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域過程控制以及失效分析的重要手段，它可以實現(xiàn)定點位置的快速加工和高分辨SEM成像，而Xe+離子FIB(PFIB)技術(shù)有別于傳統(tǒng)的Ga+離子，具有更高的束流，可實現(xiàn)高通量的切割和表征，將數(shù)據(jù)處理時間縮短至數(shù)小時而不是以往所需的數(shù)天或數(shù)周，同時對于第三代半導(dǎo)體，Xe+離子加工技術(shù)還可有效避免Ga+污染。此報告將從FIB-SEM的基本原理和前沿技術(shù)出發(fā)，重點介紹Helios 5 PFIB在芯片封裝、第三代半導(dǎo)體、顯示面板等領(lǐng)域的應(yīng)用優(yōu)勢。
嘉賓簡介：蔡琳玲在賽默飛世爾科技擔(dān)任PFA商務(wù)拓展經(jīng)理，有著10多年電鏡技術(shù)支持的從業(yè)經(jīng)驗，具有堅實的顯微鏡理論基礎(chǔ)以及豐富的實際應(yīng)用經(jīng)驗，對于電鏡產(chǎn)品如何助力于邏輯、存儲、化合物半導(dǎo)體、封裝以及面板類產(chǎn)品的研發(fā)以及良率提升有著持續(xù)和深入的研究，對于半導(dǎo)體工業(yè)各類樣品的的失效分析方法都非常熟悉?；谒S富的應(yīng)用經(jīng)驗，她可以為不同行業(yè)的客戶提供相適應(yīng)的EFA到PFA的失效解決方案。
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關(guān)于賽默飛世爾科技：賽默飛世爾科技在全球商業(yè)擁有巨大的影響力，其進入中國發(fā)展已近40年，其在中國的總部設(shè)于上海，并在北京、廣州、香港、成都、沈陽、西安、南京、武漢、濟南等地設(shè)有分公司，產(chǎn)品主要包括分析儀器、實驗室設(shè)備、試劑、耗材和軟件等，提供實驗室綜合解決方案，為各行各業(yè)的客戶服務(wù)。
對于半導(dǎo)體制造商和電子行業(yè)，其將電氣分析解決方案與 SEM、TEM、S/TEM、DualBeam FIB/SEM 以及高級軟件套件結(jié)合起來， 以最高的成功率和生產(chǎn)率提供根本原因分析。其業(yè)界領(lǐng)先的工作流程可以為加速IC設(shè)計和生產(chǎn)決策提供快速、準(zhǔn)確的解決方案。故障隔離和分析產(chǎn)品提供一流的圖像、豐富的功能集、橫斷面計量和自動化，以加快工藝缺陷識別、減少產(chǎn)量損失和縮短新產(chǎn)品上市時間。
賽默飛世爾科技為電子顯微鏡和微觀分析提供創(chuàng)新的解決方案，通過將高分辨率成像與各種規(guī)模和模式的物理、元素、化學(xué)和電氣分析相結(jié)合，通過最廣泛的樣本類型，讓客戶完成從問題到獲得可用數(shù)據(jù)的過程。
