據(jù)人民網(wǎng)3月26日?qǐng)?bào)道,哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司(以下簡(jiǎn)稱“科友半導(dǎo)體”)開(kāi)發(fā)的高性能碳化硅長(zhǎng)晶裝備和高質(zhì)量襯底產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)規(guī)?;a(chǎn)。自主研發(fā)的第三代半導(dǎo)體碳化硅產(chǎn)品不僅具有晶體生長(zhǎng)周期短、良率高等優(yōu)勢(shì),而且將襯底成本降低一半以上。
2018年,哈爾濱工業(yè)大學(xué)教授趙麗麗帶領(lǐng)技術(shù)團(tuán)隊(duì)成立科友半導(dǎo)體,開(kāi)展碳化硅高端裝備設(shè)計(jì)及晶體材料研究。
據(jù)悉,在黑龍江省重大科技成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目“碳化硅襯底產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)研究”等的支持下,科友半導(dǎo)體解決大尺寸碳化硅單晶制備易開(kāi)裂、缺陷密度高、生長(zhǎng)速率慢等技術(shù)難題,突破碳化硅襯底產(chǎn)業(yè)化系列關(guān)鍵技術(shù),完成了6英寸設(shè)備研制、生產(chǎn)線搭建、單晶襯底材料制備等,并在此基礎(chǔ)上進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了8英寸碳化硅單晶襯底制備。
據(jù)報(bào)道,科友半導(dǎo)體建設(shè)的省重點(diǎn)項(xiàng)目第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)一期工程已投入生產(chǎn);第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)二期工程將于近期開(kāi)工建設(shè),建成后將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)導(dǎo)電型碳化硅襯底15萬(wàn)片。
2020年7月3日,科友半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)項(xiàng)目在哈爾濱新區(qū)江北一體發(fā)展區(qū)開(kāi)工建設(shè)。科友半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)由科友半導(dǎo)體和哈爾濱新區(qū)共同出資建設(shè)。哈爾濱新區(qū)發(fā)布當(dāng)時(shí)消息顯示,該項(xiàng)目一期計(jì)劃投資10億元,主要建設(shè)中俄第三代半導(dǎo)體研究院、中外聯(lián)合技術(shù)創(chuàng)新中心、科友半導(dǎo)體襯底制備中心、科友半導(dǎo)體高端裝備制造中心、國(guó)際孵化基地、科友半導(dǎo)體產(chǎn)品檢驗(yàn)檢測(cè)中心、人工寶石展覽館等項(xiàng)目。項(xiàng)目全部達(dá)產(chǎn)后,最終形成年產(chǎn)高導(dǎo)晶片近10萬(wàn)片,高純半絕緣晶體1000公斤的產(chǎn)能;PVT-SIC晶體生長(zhǎng)成套設(shè)備年產(chǎn)銷200臺(tái)套。