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IFWS 2023│南京大學蔡青:AlGaN日盲紫外雪崩光電探測器的優(yōu)化設(shè)計及擊穿機理研究

日期:2023-11-29 閱讀:732
核心提示:日盲紫外光電探測器廣泛應用于太陽觀測、天氣預報、農(nóng)業(yè)保護等領(lǐng)域。隨著技術(shù)的不斷進步,日盲紫外光電探測器未來的發(fā)展方向?qū)?/div>

日盲紫外光電探測器廣泛應用于太陽觀測、天氣預報、農(nóng)業(yè)保護等領(lǐng)域。隨著技術(shù)的不斷進步,日盲紫外光電探測器未來的發(fā)展方向?qū)呌诙鄻踊透呒壔1热缬型蔀橄乱淮馔ㄐ畔到y(tǒng)的重要組成部分,除了可以用來進行衛(wèi)星遙感以外,還可以用于醫(yī)學成像、無損檢測等領(lǐng)域。還可以與其它探測器結(jié)合使用,例如激光雷達等,以實現(xiàn)更加精準和多元化的探測應用。而基于AlGaN材料的紫外探測器可通過調(diào)整Al組分實現(xiàn)日盲,從而降低背景噪聲,省去長波長濾光片,具有成本低、體積小、量子效率高、抗輻照能力強、化學穩(wěn)定性高等優(yōu)點,被認為是最有發(fā)展前景的半導體紫外探測器件。

2023年11月27-30日第九屆國際第三代半導體論壇(IFWS)&第二十屆中國國際半導體照明論壇(SSLCHINA)在廈門國際會議中心召開。本屆論壇由廈門市人民政府、廈門大學、第三代半導體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟(CASA)、中關(guān)村半導體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟(CSA)主辦,廈門市工業(yè)和信息化局、廈門市科學技術(shù)局、廈門火炬高新區(qū)管委會、惠新(廈門)科技創(chuàng)新研究院、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進中心有限公司承辦。

期間,“氮化物半導體固態(tài)紫外技術(shù)分會”如期舉行,本屆分會得到了三安光電股份有限公司、納微朗科技(深圳)有限公司、廈門光莆電子股份有限公司、賽邁科先進材料股份有限公司、山西中科潞安紫外光電科技有限公司的協(xié)辦支持,南京大學--江蘇省光電信息功能材料重點實驗室的學術(shù)協(xié)辦。

蔡青

分會上,南京大學副研究員蔡青帶來了“AlGaN日盲紫外雪崩光電探測器的優(yōu)化設(shè)計及擊穿機理研究”的主題報告。當前,AlGaN紫外面臨著高位錯密度、高過量噪聲、p型摻雜效率低等挑戰(zhàn)。報告分享了AlGaN外延橫向過生長、AlGaN APD器件結(jié)構(gòu)設(shè)計、AlGaN APD擊穿機制等研究進展與成果。

研究基于AlN自組裝的橫向外延組合超晶格納米圖案化模板可以有效地過濾位錯并優(yōu)化AlGaN雪崩光電二極管結(jié)構(gòu)的生長。研制了具有新型一維光子晶體結(jié)構(gòu)、周期性疊層倍增結(jié)構(gòu)和三臺面結(jié)構(gòu)的AlGaN紫外APD。獲得了暗電流小、增益大于106的AlGaN日盲紫外雪崩光電探測器。研究了SAM APD的穿透機制和AlGaN APD的微等離子體雪崩擊穿機制。

(備注:以上信息僅根據(jù)現(xiàn)場整理未經(jīng)嘉賓本人確認,僅供參考!)

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