氮化物襯底、外延生長(zhǎng)及相關(guān)設(shè)備技術(shù)在氮化物半導(dǎo)體器件的制備中起著至關(guān)重要的作用，涉及到特殊的材料和生長(zhǎng)技術(shù)，直接影響到制備的器件性能和質(zhì)量。技術(shù)呈現(xiàn)出高質(zhì)量單晶襯底、大尺寸單晶襯底、多晶氮化物襯底、高通量生產(chǎn)技術(shù)、外延層的高度控制和均勻性、更先進(jìn)的外延技術(shù)等多種趨勢(shì)，也面臨著缺陷和位錯(cuò)控制、外延層的高度控制和均勻性、大尺寸單晶襯底制備、外延層的高度控制和均勻性、新型外延技術(shù)的研發(fā)、先進(jìn)外延層的設(shè)計(jì)和控制、多晶氮化物襯底的性能優(yōu)化等挑戰(zhàn)，需要跨學(xué)科的研究和創(chuàng)新，涉及材料科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)和工程學(xué)等領(lǐng)域的合作。
2023年11月27-30日，第九屆國(guó)際第三代半導(dǎo)體論壇（IFWS）&第二十屆中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體照明論壇（SSLCHINA）在廈門國(guó)際會(huì)議中心召開。本屆論壇由廈門市人民政府、廈門大學(xué)、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）、中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟（CSA）主辦，廈門市工業(yè)和信息化局、廈門市科學(xué)技術(shù)局、廈門火炬高新區(qū)管委會(huì)、惠新(廈門)科技創(chuàng)新研究院、北京麥肯橋新材料生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司承辦。
29日，“氮化物襯底、外延生長(zhǎng)及其相關(guān)設(shè)備技術(shù)分會(huì)“如期召開，本屆分會(huì)得到了三安光電股份有限公司、 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司、賽邁科先進(jìn)材料股份有限公司的協(xié)辦支持，南京大學(xué)--江蘇省光電信息功能材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)協(xié)辦。
分會(huì)上，來(lái)自北京大學(xué)、 深圳大學(xué)物理與光電工程學(xué)院、北京化工大學(xué)、馬爾文岶納科 、鄭州大學(xué)、南京大學(xué)、 中微公司、中國(guó)科學(xué)院蘇州納米所、蘇州大學(xué)、深圳大學(xué)、香港中文大學(xué)等科研院校知名專家及實(shí)力派企業(yè)代表共同參與，圍繞氮化物襯底、外延生長(zhǎng)及其相關(guān)設(shè)備技術(shù)的發(fā)展分享主題報(bào)告。北京大學(xué)理學(xué)部副主任、教授沈波，江蘇第三代半導(dǎo)體研究院院長(zhǎng)、中國(guó)科學(xué)院蘇州納米所副所長(zhǎng)、研究員徐科，北京大學(xué)教授于彤軍共同主持了本屆分會(huì)。
北京大學(xué)理學(xué)部副主任、教授沈波
江蘇第三代半導(dǎo)體研究院院長(zhǎng)、中國(guó)科學(xué)院蘇州納米所副所長(zhǎng)、研究員徐科
于彤軍--北京大學(xué)教授
《大尺寸AlN單晶生長(zhǎng)研究》
范澤龍-深圳大學(xué)
《PVT法同質(zhì)擴(kuò)徑制備大尺寸氮化鋁晶體 》
鐘明光--馬爾文岶納科 亞太區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)理
《高分辨率X射線衍射技術(shù)在半導(dǎo)體材料分析中的應(yīng)用 》
魯正乾--鄭州大學(xué)
MOCVD生長(zhǎng)AlN薄膜的成核研究
修向前--南京大學(xué)教授
基于HVPE的氮化鎵單晶設(shè)備與工藝技術(shù)
陳耀--中微公司MOCVD工藝總監(jiān)
用單晶MOCVD平臺(tái)在8“Si襯底上生長(zhǎng)高質(zhì)量GaN基HEMT
冀東--香港中文大學(xué)（深圳）助理教授
《氮化鎵同質(zhì)外延中的雪崩擊穿特性》
司志偉--中國(guó)科學(xué)院蘇州納米所助理研究員
《助熔劑法生長(zhǎng)GaN單晶襯底的研究進(jìn)展 》
（備注：以上信息僅根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)整理未經(jīng)嘉賓本人確認(rèn)，僅供參考?。?/p>
