近日,吉林省人民政府發(fā)布了《吉林省人民政府關于2023年度吉林省科學技術獎勵的決定》(吉政函〔2023〕80號),其中,中國科學院長春光學精密機械與物理研究所、奧趨光電技術(杭州)有限公司、楚赟精工科技(上海)有限公司合作項目“低缺陷氮化鋁材料制備關鍵技術及其深紫外光電器件”項目榮獲吉林省技術發(fā)明一等獎。所有完成人:1黎大兵,2孫曉娟,3吳亮,4徐春陽,5蔣科,6賁建偉,7張山麗,8王琦琨,9林桂榮,10石芝銘;所有完成單位:1中國科學院長春光學精密機械與物理研究所,2奧趨光電技術(杭州)有限公司,3楚赟精工科技(上海)有限公司。
2023年度吉林省技術發(fā)明一等獎共三項,另兩項技術發(fā)明一等獎分別為“復雜服役環(huán)境工模具表面損傷仿生功能化數(shù)字修復新技術”(吉林大學等)、單細胞多維信息納米成像檢測與操縱技術及應用(長春理工大學等)。據(jù)悉,2023年度吉林省科學技術獎共評選出獎勵項目281項(人),包括技術發(fā)明獎6項(一等獎3項、二等獎3項),自然科學獎74項目(一等獎4項、二等獎34項、三等獎36項),科學進步獎200項(一等獎28項、二等獎73項、三等獎99項),國際科學技術合作獎1人。
氮化鋁、碳化硅、氮化鎵等寬禁帶半導體材料是新一代固態(tài)光源、電力電子、微波射頻器件的“核芯”,是全球半導體技術研究前沿和戰(zhàn)略競爭的制高點,美、日、歐等各國政府均積極進行戰(zhàn)略部署,支持開展各項研究計劃。AlN具有高禁帶寬度(6.2eV)、高熱導率、高擊穿場強、良好的紫外透過率、化學和熱穩(wěn)定性等優(yōu)異性能,與金剛石一起稱為終極半導體材料。其中,氮化鋁作為襯底材料在紫外光電器件(UVC-LED、紫外激光器、紫外傳感)、各類射頻器件/功率器件及國防軍工(紫外預警、高功率X波段相控雷達、保密通信)等領域有廣泛應用前景。美國氮化鋁單晶制備技術及相關產(chǎn)品十多年來一直對華封鎖與禁運,也是《中國制造2025》綠皮書重點支持戰(zhàn)略新材料。
關于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
中國科學院長春光學精密機械與物理研究所(簡稱“長春光機所”)始建于1952年,由長春光機所與長春物理所于1999年整合而成,是新中國在光學領域建立的第一個研究所,主要從事發(fā)光學、應用光學、光學工程、精密機械與儀器的研發(fā)生產(chǎn)。
建所70年來,長春光機所在以王大珩院士、徐敘瑢院士等為代表的一批科學家的帶領下,研制出中國第一臺紅寶石激光器、第一臺大型電影經(jīng)緯儀等多種先進儀器設備,創(chuàng)造了十幾項“中國第一”;組建、援建了10余家科研機構(gòu)、大專院校和企業(yè)單位,并為其輸送了2200多名各類專業(yè)人才;有27位在本所學習或者工作過的優(yōu)秀科學家當選為兩院院士,并涌現(xiàn)出“知識分子的優(yōu)秀代表”蔣筑英等眾多英模人物;先后參加了“兩彈一星”、“載人航天工程”等多項國家重大工程項目,為我國國防建設、經(jīng)濟發(fā)展和社會進步做出了突出貢獻。
進入知識創(chuàng)新工程以來,長春光機所堅持以科技創(chuàng)新為核心的“研產(chǎn)學并舉”發(fā)展理念,在科研領域攻克了多項關鍵技術,取得了以神舟系列有效載荷為代表的一批重大科研成果。現(xiàn)有18個研究部室,其中國家重點實驗室/工程中心6個、中科院重點實驗室2個。長春光機所園區(qū)占地面積1平方公里,建筑面積41萬平方米,園區(qū)結(jié)構(gòu)合理、功能齊全、設施先進、環(huán)境優(yōu)美。作為中科院博士生重點培養(yǎng)基地,長春光機所設有碩士點9個、博士點7個、博士后流動站3個,在學研究生千余人。
長春光機所現(xiàn)有在職職工2500余人,其中國家級各類領軍人才15人,國務院政府特殊津貼獲得者37人。通過實施科學的人才培養(yǎng)和評價體系,形成了創(chuàng)新人才輩出、創(chuàng)新成果不斷涌現(xiàn)的良好態(tài)勢。
長春光機所的各項工作得到社會各界的大力支持和充分肯定,曾榮獲多項獎勵和榮譽稱號。2000年以來,獲得國家及省部級科技成果獎勵165項,其中國家科技進步特等獎3項,國家科技進步獎、國家發(fā)明獎、國家自然科學獎共28項,中科院、省部級一等獎78項。2002-2003年,連續(xù)兩年獲得“全國五一勞動獎狀”,2011年被評為“全國先進基層黨組織”,2014年被授予“全國文明單位”稱號。
關于奧趨光電技術(杭州)有限公司
奧趨光電是由海歸博士團隊、半導體領域頂尖技術專家領銜,于2016年5月創(chuàng)立的高新技術、創(chuàng)新型企業(yè),總部位于浙江省杭州市。奧趨光電核心專注于第三代/第四代超寬禁帶半導體氮化鋁晶圓襯底材料、藍寶石基/硅基/碳化硅基氮化鋁/氮化鋁鈧薄膜模板、全自動氮化鋁PVT氣相沉積爐及其相關產(chǎn)品的研發(fā)、制造與銷售,核心產(chǎn)品被列入《中國制造2025》關鍵戰(zhàn)略新材料與裝備目錄,是制備深紫外LED芯片、5G射頻前端濾波器、MEMS壓電傳感器等各類紫外發(fā)光器件、高溫/高頻射頻器件、高頻/高功率電子及激光器件的理想襯底/壓電材料。
奧趨光電經(jīng)過多年的高強度研發(fā)投入,于2019年成功開發(fā)出全球最大,直徑60mm的氮化鋁單晶及晶圓,并于2022年開發(fā)出直徑達76 mm的鋁極性氮化鋁單晶及3英寸晶圓樣片,奧趨光電同時也是全球首家藍寶石基氮化鋁薄膜模板大批量制造商。目前可向客戶提供2英寸及以下尺寸高質(zhì)量氮化鋁單晶襯底、2/4/6英寸藍寶石基/硅基/碳化硅基氮化鋁、氮化鋁鈧薄膜模板、氮化鋁單晶氣相沉積爐及熱處理設備等產(chǎn)品,同時向客戶及合作伙伴提供從設備設計、熱場設計、熱場模擬仿真技術開發(fā)、咨詢及生長工藝優(yōu)化到晶圓制程等全環(huán)節(jié)的完整工藝解決方案與專業(yè)技術服務。截止2023年11月,共申請/授權國際、國內(nèi)專利60余項,是全球范圍內(nèi)本領域?qū)@麛?shù)量最多的團隊之一,被公認為本領域全球技術的領導者。
關于楚赟精工科技(上海)有限公司
楚赟精工科技(上海)有限公司成立于2014年,是一家化合物半導體全領域材料生長裝備制造國產(chǎn)化企業(yè),以MOCVD和CVD裝備為核心產(chǎn)品,致力于第三代半導體裝備和材料技術的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化,提供專業(yè)、定制的化合物半導體領域核心技術裝備和新材料工藝。公司員工約30%擁有博士或碩士學位,在上海浦東張江擁有1000多平米的研發(fā)中心。公司專注于:(1)MOCVD、專業(yè)CVD等半導體高端裝備定制研發(fā)、生產(chǎn)制造和技術服務;(2)高新材料定制生長與合作研究探索。