12月27日，總投資6億元、由上海盛劍半導(dǎo)體科技有限公司建設(shè)運(yùn)營的國產(chǎn)半導(dǎo)體制程附屬設(shè)備及關(guān)鍵零部件生產(chǎn)基地在嘉定工業(yè)區(qū)開工。項(xiàng)目建成后，有望提升半導(dǎo)體制程附屬裝備的高端國產(chǎn)化配套能力，推動(dòng)半導(dǎo)體裝備國產(chǎn)替代率不斷提高。

生產(chǎn)基地選址嘉定工業(yè)區(qū)（北區(qū)）JDSB0301、JDSB0302、JDSB0303單元64-03地塊，東至基地邊界，南至基地邊界，西至城北路，北至興順路。項(xiàng)目占地面積約42畝，擬分兩期投資建設(shè)，將打造成為集研發(fā)、制造、銷售和維保服務(wù)為一體的國產(chǎn)先進(jìn)半導(dǎo)體附屬裝備平臺。

據(jù)了解，上海盛劍半導(dǎo)體科技有限公司是國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)工藝廢氣治理系統(tǒng)解決方案領(lǐng)軍企業(yè)——上海盛劍環(huán)境系統(tǒng)科技股份有限公司的子公司。截至目前，企業(yè)已獲專利50余項(xiàng)，在半導(dǎo)體附屬設(shè)備領(lǐng)域具備深厚積累。

（來源：澎湃新聞）