據(jù)國家知識產(chǎn)權局公告，北京大學申請一項名為“一種大尺寸高熱導率III族氮化物外延材料的制備方法“，公開號CN117646275A，申請日期為2024年1月。
專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種大尺寸高熱導率III族氮化物外延材料的制備方法，利用功能層和支撐層的鍵合襯底，先在功能層正面生長多晶金剛石，然后去掉支撐層，在功能層背面生長III族氮化物外延材料，獲得多晶金剛石與III族氮化物材料的異質集成結構。III族氮化物、功能層、多晶金剛石三者之間是直接生長成鍵連接，確保了聲子的傳播，并充分利用多晶金剛石高熱導率的優(yōu)點提高了整個異質集成結構的熱導率；III族氮化物外延材料生長在復合襯底之上，不會受到破壞，保證了其性能；通過選取不同的鍵合襯底表面，可以控制生長金屬極性或氮極性的III族氮化物材料，滿足不同領域應用需求。本發(fā)明的制備方法對尺寸沒有限制，可以實現(xiàn)大尺寸批量化的生產(chǎn)。
