2024年3月6日，盛美上海濕法設(shè)備4000腔順利交付。盛美上海于2021年10月順利交付濕法設(shè)備2000腔， 2022年11月突破3000腔，如今4000腔的里程碑也已達(dá)成。盛美上海消息顯示，盛美上海總經(jīng)理王堅(jiān)表示:“盛美的清洗設(shè)備可以做邏輯與存儲(chǔ)90%以上的清洗工藝，我們可以期待很快濕法設(shè)備突破5000腔。”

盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司成立于2005年，是上海市政府科教興市項(xiàng)目重點(diǎn)引進(jìn)的集成電路裝備企業(yè)。集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售于一體，為全球客戶提供高端半導(dǎo)體設(shè)備。主要產(chǎn)品有單晶圓及槽式濕法清洗設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備、無應(yīng)力拋光設(shè)備、立式爐管設(shè)備、前道涂膠顯影設(shè)備及PECVD設(shè)備等。