2024年4月9-11日，一年一度化合物半導(dǎo)體行業(yè)盛會——2024九峰山論壇暨中國國際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會（簡稱“JFSC＆CSE”）將于武漢光谷科技會展中心舉辦。解決方案提供商Axcelis將亮相本屆盛會，誠邀業(yè)界同仁蒞臨A112展臺參觀、交流合作。

本屆CSE博覽會由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、九峰山實驗室共同主辦，以“聚勢賦能 共赴未來”為主題，將匯集全球頂尖的化合物半導(dǎo)體制造技術(shù)專家、行業(yè)領(lǐng)袖和創(chuàng)新者，采用“示范展示+前沿論壇+技術(shù)與商貿(mào)交流”的形式，為產(chǎn)業(yè)鏈的升階發(fā)展搭建供需精準(zhǔn)對接平臺，助力企業(yè)高效、強力拓展目標(biāo)客戶資源，加速驅(qū)動中國化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的完善和升級。

CSE作為2024年首場國際化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)博覽會得到了多方力量的大力支持，三大主題展區(qū)，六大領(lǐng)域，將集中展示各鏈條關(guān)鍵環(huán)節(jié)的新技術(shù)、新產(chǎn)品、新服務(wù)，將打造化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域的標(biāo)桿性展會。助力打造全球化合物半導(dǎo)體平臺、技術(shù)、產(chǎn)業(yè)的燈塔級盛會，集中展示化合物半導(dǎo)體上下游全產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品，搭建企業(yè)發(fā)布年度新產(chǎn)品新技術(shù)的首選平臺，支撐產(chǎn)業(yè)鏈及中部地區(qū)建設(shè)具有全球影響力的萬億級光電子信息產(chǎn)業(yè)集群。

45年以來, Axcelis一直在為半導(dǎo)體行業(yè)提供高產(chǎn)能，創(chuàng)新型的解決方案。Axcelis致力于通過設(shè)計、制造離子注入系統(tǒng)并提供產(chǎn)品生命周期的全程支持來推動離子注入相關(guān)制程，這是集成電路制造眾最關(guān)鍵的賦能步驟之一。想要了解更多，請點擊www.axcelis.com.

產(chǎn)品介紹

Purion XE Series

Purion XE系列單片式高能離子注入平臺結(jié)合了RF線性加速器(LINAC)的制程和生產(chǎn)力優(yōu)勢，且具有Purion平臺的可靠性、高精準(zhǔn)度及工藝靈活性。Purion XE系列的基礎(chǔ)產(chǎn)品是Purion XE,還包括能量范圍更廣的Purion EXE、Purion VXE和Purion XEmax。此外，還提供適用于功率器件市場的Purion XE和Purion EXE Power系列。

2）Purion H Series

Purion H系列是Axcelis先進的單片式大束流離子注入平臺。Purion H采用增強型點狀離子束掃描技術(shù)，開創(chuàng)了旨在提升良率的離子注入技術(shù)新時代。Purion H為客戶提供了前所未有的工藝控制水平，以應(yīng)對轉(zhuǎn)換成3D器件的新挑戰(zhàn)。

3）Purion M Series

Purion M是唯一適用于中、低劑量所有溝道工藝應(yīng)用的中束流離子注入平臺。該平臺可提升單片晶圓產(chǎn)能，涵蓋了傳統(tǒng)中束流工藝、低能量中劑量HALO離子注入和亞兆電子伏特阱區(qū)注入新興工藝。Purion M是Purion Power Series的最初產(chǎn)品成員。

值此之際，我們誠邀業(yè)界同仁共聚本屆盛會，蒞臨展位現(xiàn)場參觀交流、洽談合作。

關(guān)于JFSC&CSE 2024