7月11日，廣東中科半導(dǎo)體微納制造技術(shù)研究院（以下簡稱“廣東微納院”）半導(dǎo)體微納加工中試平臺(tái)通線暨項(xiàng)目簽約儀式舉行。

南?？萍枷@示，會(huì)上，廣東微納院半導(dǎo)體微納加工中試平臺(tái)通線，微納院二期項(xiàng)目正式封頂，一批半導(dǎo)體項(xiàng)目現(xiàn)場簽約。

活動(dòng)現(xiàn)場，蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司、科大訊飛股份有限公司、中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所等12家企業(yè)、科研院所與廣東微納院簽訂中試合作協(xié)議。未來，廣東微納院“半導(dǎo)體材料外延與表征”、“半導(dǎo)體微納加工”兩大中試平臺(tái)將分別為合作企業(yè)提供提供外延定制、表征測試及全流程中試流片、技術(shù)咨詢等多種中試服務(wù)。

據(jù)介紹，平臺(tái)建成后，將具備8英寸硅晶圓和氮化鎵晶圓加工能力。廣東微納院消息顯示，半導(dǎo)體微納加工中試平臺(tái)建有8英寸硅晶圓及8英寸(向下兼容)氮化鎵(GaN)晶圓加工線，擁有超百臺(tái)芯片加工設(shè)備，涵蓋光刻、鍍膜、刻蝕、摻雜、量測等全流程工藝；半導(dǎo)體材料外延與表征中試平臺(tái)專注于第三代半導(dǎo)體材料外延生長技術(shù)，擁有10余套材料外延生長的MOCVD設(shè)備和20余套滿足各類材料/器件檢測的測試設(shè)備，具備8英寸硅晶圓及硅基氮化鎵晶圓切割加工、大功率LED陶瓷封裝等能力。

依托半導(dǎo)體中試平臺(tái)，廣東微納院于2023年啟動(dòng)二期建設(shè)。二期定位為產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)，建設(shè)6萬平方米專業(yè)化半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)載體，其中潔凈廠房3.4萬平方米，預(yù)計(jì)2025年一季度進(jìn)入試運(yùn)行階段，將打造成為華南地區(qū)潔凈面積最大、產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋最全的專業(yè)化技術(shù)驅(qū)動(dòng)型主題園區(qū)。活動(dòng)舉行了簡單而隆重的二期產(chǎn)業(yè)孵化區(qū)封頂儀式，6家企業(yè)與廣東微納院簽訂了意向落戶協(xié)議。

南?？萍枷@示，當(dāng)前廣東微納院已構(gòu)建了‘一核五園多要素’平臺(tái)格局，除了中試平臺(tái)通線及二期項(xiàng)目封頂外，研究院將推進(jìn)三期項(xiàng)目規(guī)劃，持續(xù)配備更多半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)相關(guān)設(shè)備，引進(jìn)培育一批半導(dǎo)體上下游產(chǎn)業(yè)企業(yè)，打造成半導(dǎo)體全鏈條產(chǎn)業(yè)服務(wù)平臺(tái)。

（來源：集微）