2025年1月8日，中關(guān)村半導(dǎo)體照明工程研發(fā)及產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟（CSA）標準化委員會（CSAS）秘書處組織召開《異質(zhì)外延氮化鎵外延層厚度測試 白光干涉法》標準起草小組第一次討論會，北京大學(xué)東莞光電研究院、東莞質(zhì)檢、中鎵半導(dǎo)體、普雷賽斯、中科院半導(dǎo)體所、京東方華燦光電、民爆光電、第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)戰(zhàn)略聯(lián)盟及CSAS技術(shù)咨詢委員等共計13位專家代表參會。

線上截圖｜TCSA 102團體標準起草組第一次討論會

《異質(zhì)外延氮化鎵外延層厚度測試 白光干涉法》由北京大學(xué)東莞光電研究院聯(lián)合南京大學(xué)、中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所、中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、廣東省東莞市質(zhì)量監(jiān)督檢測中心四家單位提案，經(jīng)過CSAS管理委員會投票獲得批準，2024年11月正式立項，標準編號為：T/CSA 102。

針對異質(zhì)外延的氮化鎵膜層厚度的測試方法已被業(yè)界廣泛使用，但是相應(yīng)測試方法的缺失在一定程度上降低了上下游溝通效率，本標準的制定旨在方便各方進行對標，提高溝通協(xié)調(diào)效率。 

T/CSA 102起草組第一次討論會，北大東莞光電研究院劉強博士介紹了標準項目背景、草案內(nèi)容，與會專家從標準的適用性、可操作性、規(guī)范性、立項投票管理委員意見等方面展開了充分討論。會后，起草組將根據(jù)會上討論結(jié)果進一步完善標準文本，并開展試驗驗證以支撐標準的制定。