極智報(bào)告|中國科學(xué)院中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所梁萌分享了“二位緩沖層氮化物異質(zhì)外延”研究報(bào)告;他介紹說,石墨烯緩沖層氮化物異質(zhì)外延,初步實(shí)現(xiàn)了石墨烯界面氮化物成核,石墨烯邊界與Bridge site,將優(yōu)先成核位置。我們?cè)谑┥蟻磉M(jìn)行一個(gè)類似納米柱上的生長(zhǎng),做了一些研究,通過調(diào)整晶核生長(zhǎng)得到納米柱的結(jié)構(gòu),在圖形化的襯底上也長(zhǎng)出來一些趨向比較一致的石墨烯的納米柱,但是這根趨向一致性主要是硅的襯底,因?yàn)槭┦菃渭兊牟牧?,石墨烯生長(zhǎng)會(huì)受到襯底的影響,所以硅是單層多層,單層的話趨向是非常一致的,層數(shù)變多會(huì)有一定的紊亂,加氮受到襯底的
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