日前，荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML通過公司官網(wǎng)宣布，完成了新產(chǎn)品，第一代HMI多光束檢測機(jī)HMI eScan1000的測試，該設(shè)備能同時產(chǎn)生和控制九道電子束，與單個電子束檢查工具相比，將使檢測系統(tǒng)的吞吐量提高600％。

　　盡管這一產(chǎn)品并非直接用來制造晶圓，而是一套檢測系統(tǒng)，但其對晶圓質(zhì)量的檢測效率，也會對整體生產(chǎn)效率產(chǎn)生很大影響。尤其在5nm這樣先進(jìn)工藝的情況下，顯得更為重要。

 

　　目前，首臺HMI eScan1000將于本周交付客戶檢驗。ASML還計劃繼續(xù)增加光束數(shù)量并提高精度，來滿足未來芯片制造商對于產(chǎn)品工藝的更高要求。