2020年12月28日，上海積塔半導(dǎo)體首臺(tái)ASML 12寸光刻機(jī)正式進(jìn)場(chǎng)！

據(jù)了解，上海積塔半導(dǎo)體項(xiàng)目是總投資為359億元人民幣，是上海市政府與中國電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)合作協(xié)議的重要內(nèi)容，該項(xiàng)目位于上海浦東新區(qū)臨港裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)，占地面積23萬平方米，建設(shè)月產(chǎn)能6萬片的8英寸生產(chǎn)線和5萬片12英寸特色工藝生產(chǎn)線，將打造面向工業(yè)控制和汽車電子等高端應(yīng)用的特色工藝生產(chǎn)線，產(chǎn)品重點(diǎn)面向工業(yè)控制、汽車、電力、能源等領(lǐng)域，將提升中國功率器件IGBT、電源管理、傳感器等芯片的核心競(jìng)爭(zhēng)力和規(guī)模化生產(chǎn)能力，將在國內(nèi)首家實(shí)現(xiàn)65nm 12英寸BCD工藝（即在同一芯片上制作雙極管bipolar,CMOS和DMOS器件），建成國內(nèi)唯一的汽車級(jí)IGBT專業(yè)產(chǎn)線和國內(nèi)首家實(shí)現(xiàn)6英寸碳化硅量產(chǎn)線。

 

按照計(jì)劃，項(xiàng)目一期規(guī)劃建設(shè)月產(chǎn)能6萬片8英寸晶圓的0.11μm/0.13μm/0.18μm（微米）工藝生產(chǎn)線，各類生產(chǎn)線將在今年實(shí)現(xiàn)全面量產(chǎn)，二期規(guī)劃擴(kuò)建12英寸特色工藝生產(chǎn)線至月產(chǎn)能5萬片。

 

2019年12月28日，積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線首臺(tái)光刻設(shè)備搬入儀式在上海自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)積塔半導(dǎo)體廠區(qū)舉行，這標(biāo)志著積塔半導(dǎo)體從建設(shè)期向生產(chǎn)運(yùn)營期邁出重要一步，為2020年底實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)打下了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

 

2020年3月30日，積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線正式投片；6月30日，積塔半導(dǎo)體臨港新廠正式投產(chǎn)。