12月29日,中微半導體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司” 證券代碼:688012)公告稱,公司基于經(jīng)營戰(zhàn)略發(fā)展考慮,公司擬以現(xiàn)金方式向睿勵科學儀器(上海)有限公司(以下簡稱“上海睿勵”)增資1億元,認購上海睿勵新增注冊資本 83,333,333.33 元人民幣,認購單價為1.2元股(注冊資本)。本次增資完成后,上海睿勵注冊資本從344,608,548.15 元人民幣增加至 427,941,881.48 元人民幣,公司持有上海睿勵股權(quán)比例為20.4467%。
中微公司表示,本次公司對外投資,系公司為完善業(yè)務(wù)布局而進行,該事項的發(fā)生有其必要性和合理性,符合公司經(jīng)營發(fā)展的需要,不會對公司財務(wù)和經(jīng)營產(chǎn)生不利影響,不存在損害上市公司及全體股東特別是中小股東利益的情形。
中微公司表示,本次公司對外投資,系公司為完善業(yè)務(wù)布局而進行,該事項的發(fā)生有其必要性和合理性,符合公司經(jīng)營發(fā)展的需要,不會對公司財務(wù)和經(jīng)營產(chǎn)生不利影響,不存在損害上市公司及全體股東特別是中小股東利益的情形。
據(jù)了解,中微公司是我國一家以中國為基地、面向全球的高端半導體微觀加工設(shè)備公司,是我國集成電路設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)。公司聚焦用于集成電路、LED芯片等微觀器件領(lǐng)域的等離子體刻蝕設(shè)備、深硅刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司產(chǎn)品定位于高端半導體設(shè)備,在刻蝕設(shè)備方面,公司設(shè)備已應(yīng)用于全球先進的7納米和5納米集成電路加工制造生產(chǎn)線;在MOCVD設(shè)備領(lǐng)域,公司MOCVD設(shè)備持續(xù)在行業(yè)領(lǐng)先客戶生產(chǎn)線上大規(guī)模投入量產(chǎn),保持在行業(yè)內(nèi)的領(lǐng)先地位。公司的創(chuàng)始團隊及技術(shù)人員擁有國際領(lǐng)先半導體設(shè)備公司的從業(yè)經(jīng)驗,是具有國際化優(yōu)勢的半導體設(shè)備研發(fā)和運營團隊之一,公司始終保持大額的研發(fā)投入和較高的研發(fā)投入占比,多年來積累了深厚的技術(shù)儲備和豐富的研發(fā)經(jīng)驗。
![](http://m.jycsgw.cn/file/upload/202012/30/092535951.png)
上海睿勵成立于 2005 年 6 月 27 日,上海睿勵致力于集成電路生產(chǎn)前道工藝檢測領(lǐng)域設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn),是國內(nèi)少數(shù)幾家進入國際領(lǐng)先的 12 英寸生產(chǎn)線的高端裝備企業(yè)之一,并且是國內(nèi)唯一進入某韓國領(lǐng)先芯片生產(chǎn)企業(yè)的國產(chǎn)集成電路設(shè)備企業(yè)。上海睿勵主營的產(chǎn)品為光學膜厚測量設(shè)備和光學缺陷檢測設(shè)備,以及硅片厚度及翹曲測量設(shè)備等。上海睿勵自主研發(fā)的 12 英寸光學測量設(shè)備 TFX3000 系列產(chǎn)品,已應(yīng)用在 65/55/40/28 納米芯片生產(chǎn)線并在進行了 14 納米工藝驗證,在 3D存儲芯片產(chǎn)線支持 64 層 3D NAND 芯片的生產(chǎn),并正在驗證 96 層 3D NAND 芯片的測量性能。上海睿勵應(yīng)用于 LED 藍寶石襯底圖形檢測的自動光學檢測設(shè)備,也已成功銷售到眾多國內(nèi) LED PSS 襯底和 LED 芯片生產(chǎn)線。
目前,上海睿勵正在開發(fā)下一代可支持更高階芯片制程工藝的膜厚和 OCD 測量設(shè)備以及應(yīng)用于集成電路芯片生產(chǎn)的缺陷檢測設(shè)備,進一步擴大可服務(wù)的市場規(guī)模。截止 2020 年 11 月 30 日,上海睿勵擁有專利 87 項,軟件著作權(quán) 39 項,注冊商標 8 項,作品著作權(quán) 1 項及備案域名 2 項。
集成電路芯片生產(chǎn)設(shè)備包括光刻、刻蝕、薄膜、工藝檢測、清洗、離子注入等諸多個細分種類。工藝檢測設(shè)備是為芯片生產(chǎn)各工藝提供監(jiān)測數(shù)據(jù)以確保各項工藝指標滿足要求從而提高成品率的關(guān)鍵性設(shè)備。根據(jù)SEMI發(fā)布的近幾年的年度統(tǒng)計,工藝檢測設(shè)備市場規(guī)模約占半導體芯片制造工藝設(shè)備的13%,是僅次于光刻、刻蝕和薄膜的第四大細分設(shè)備領(lǐng)域。隨著芯片工藝不斷向更小節(jié)點發(fā)展,芯片生產(chǎn)過程中的所需檢測的步驟和頻次越來越高,對工藝檢測設(shè)備的需求量隨之增加。
中微公司表示,公司在集成電路刻蝕設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)和市場化方面已經(jīng)取得了一定的成果,前期通過投資國內(nèi)領(lǐng)先的薄膜設(shè)備公司沈陽拓荊科技有限公司在集成電路薄膜設(shè)備領(lǐng)域進行了布局。本次投資上海睿勵將使公司能夠布局集成電路工藝檢測設(shè)備領(lǐng)域。公司同上海睿勵的客戶和供應(yīng)商有高度重疊,通過本次投資,能進一步形成產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同效應(yīng)。投資上海睿勵是公司聚焦并落實高端芯片設(shè)備戰(zhàn)略的又一步驟,系公司為完善業(yè)務(wù)布局而進行的投資。通過對上海睿勵的投資,公司有望與上海睿勵形成協(xié)同發(fā)展效應(yīng),不會損害公司和全體股東的利益。
此外,中微公司近期還入股了另一家半導體設(shè)備廠商——上海理想萬里暉薄膜設(shè)備有限公司(以下簡稱“理想萬里暉”)。
資料顯示,12月24日,理想萬里暉發(fā)生了股權(quán)變更,原股東之一理想能源設(shè)備(上海)有限公司退出,新增中微公司、三峽綠色產(chǎn)業(yè)(山東)股權(quán)投資合伙企業(yè)(有限合伙)、上海毅達鑫業(yè)一號股權(quán)投資基金合伙企業(yè)(有限合伙)等股東,其注冊資本從8455.33萬元增至1.46億元。中微公司本次認繳出資額為約563.689萬元,持有理想萬里暉3.8499%股權(quán)。
資料顯示,理想萬里暉前身是理想能源PECVD事業(yè)部,2012年經(jīng)過拆分重組,于2013年完成注冊。2020年,理想萬里暉完成A+輪融資,并落戶上海臨港新片區(qū)。理想萬里暉主營太陽能、泛半導體和半導體高端PECVD裝備,系列光伏和AMOLED顯示等領(lǐng)域高端PECVD系列產(chǎn)品多次打破國外壟斷、填補國內(nèi)空白。理想萬里暉表示將繼續(xù)致力于前沿高端光伏設(shè)備的研發(fā),并將在現(xiàn)有基礎(chǔ)上延伸產(chǎn)業(yè)鏈,開發(fā)大面積石墨烯和集成電路半導體領(lǐng)域用PECVD設(shè)備。