近日，北京經(jīng)開區(qū)企業(yè)北京科翰龍裝備技術(shù)股份有限公司（以下簡稱“科翰龍”）自主研發(fā)的晶圓打碼機WM-SC800R通過驗收。

 

北京亦莊消息稱，這是國內(nèi)首臺通過FAB廠（通常指半導體工廠）驗收的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的晶圓(Wafer)ID打碼設備。晶圓(Wafer)ID打碼設備實現(xiàn)從“零”的突破，并突破了“卡脖子”環(huán)節(jié)，在自主可控道路上邁出關(guān)鍵一步。

 

圖片來源：北京亦莊

 

據(jù)了解，晶圓(Wafer)ID打碼設備新產(chǎn)品通過驗收是一個十分漫長的過程。兩年前，晶圓打碼機WM-SC800R就在FAB廠的8英寸集成電路晶圓生產(chǎn)線上進行晶圓(Wafer)ID軟打碼測試及試生產(chǎn)。檢測結(jié)果優(yōu)良，該晶圓打碼機所加工的晶圓(Wafer)ID碼完全達到了SEMI（半導體設備與材料的國際性組織）標準的要求，達到了用戶關(guān)于軟打碼顆粒數(shù)的要求，完全達到了ISO 1級環(huán)境下的要求。

 

經(jīng)過兩年的測驗，今年8月，晶圓打碼機WM-SC800R正式通過驗收。

 

北京亦莊消息顯示，科翰龍副總經(jīng)理王向陽表示，為了打破國外公司在相關(guān)領(lǐng)域的長期壟斷，科翰龍利用自己的技術(shù)優(yōu)勢研發(fā)了晶圓(Wafer)ID打碼設備。WM-SC800R在激光器的選用、光路的設計、晶圓定位的方法、設備結(jié)構(gòu)設計以及設備的整體控制及軟件編程上都是自主設計開發(fā)的，具有完全的自主知識產(chǎn)權(quán)。

 

王向陽強調(diào)，無論是在知識產(chǎn)權(quán)還是設備主要部件方面，WM-SC800R都做到了自主可控，不易被國外卡脖子。