阿斯麥已在官網(wǎng)上公布了柏林工廠發(fā)生火災(zāi)的消息，從官網(wǎng)的信息來看，發(fā)生火災(zāi)的工廠，是阿斯麥的一座零部件工廠，生產(chǎn)晶圓臺(tái)、網(wǎng)紋卡盤和鏡像塊等。發(fā)生火災(zāi)的這一工廠，原屬于阿斯麥的供應(yīng)商Berliner Glas，阿斯麥在2020年收購(gòu)了這一公司，收購(gòu)金額尚未披露，有報(bào)道稱是花費(fèi)了2.3億歐元，也就是約2.36億美元。?

 

由于阿斯麥?zhǔn)侨蛑匾墓饪虣C(jī)制造商，也是目前唯一能制造極紫外光刻機(jī)的廠商，在全球多領(lǐng)域芯片短缺的背景下，阿斯麥光刻機(jī)的生產(chǎn)及交付至關(guān)重要，柏林工廠的火災(zāi)是否會(huì)影響到生產(chǎn)就備受關(guān)注。另外，由于光刻機(jī)由眾多部件組裝而成，任何部件生產(chǎn)的推遲，都可能影響到光刻機(jī)最終的生產(chǎn)和交付，進(jìn)而影響到芯片廠商擴(kuò)大產(chǎn)能。

 

ASML發(fā)布的消息指出，過去幾日進(jìn)行的初步評(píng)估顯示，柏林制造基地部分生產(chǎn)線有遭大火毀壞，冒出的濃煙也部分影響了隔壁棟。這些受影響的建筑已順利恢復(fù)一些生產(chǎn)作業(yè)，柏林廠區(qū)的其他建筑則未受影響，一直都能正常運(yùn)作。

 

ASML仍在持續(xù)評(píng)估受損情況，目前的檢視結(jié)果如下：

 

1.計(jì)量（Metrology）和檢測(cè)（Inspection）產(chǎn)出計(jì)劃未受影響，因?yàn)槭褂玫牧憬M件并非來自柏林廠。

 

2.深紫外光曝光設(shè)備（DUV）零件生產(chǎn)已獲重啟。雖然DUV零件受到一些干擾，但ASML應(yīng)能設(shè)法解決問題，不會(huì)影響DUV的產(chǎn)出及營(yíng)收計(jì)劃。

 

3.關(guān)于極紫外光（EUV）微影設(shè)備，火災(zāi)影響了晶圓夾（wafer clamp）一部分生產(chǎn)區(qū)域，這是EUV系統(tǒng)的一項(xiàng)模塊。ASML還在設(shè)法讓這個(gè)生產(chǎn)區(qū)恢復(fù)正常，也在評(píng)估要如何調(diào)整產(chǎn)出計(jì)劃、現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，讓EUV客戶可能受到的影響降至最低。

 

ASML預(yù)定2022年1月19日公布第四季和2021年財(cái)報(bào)，以及2022年的初步展望，屆時(shí)也會(huì)針對(duì)這起意外公布更多細(xì)節(jié)。

 

ASML柏林廠主要制造微影系統(tǒng)需要的零組件，當(dāng)中包括晶圓固定工作臺(tái)、晶圓夾具、光罩吸盤、反射鏡等。ASML在2020年并購(gòu)德商Berliner Glas。

 

根據(jù)外媒報(bào)導(dǎo)，分析人士直指，若ASML的EUV設(shè)備出貨量因?yàn)檫@場(chǎng)火災(zāi)縮減10%，則可能讓全球微影設(shè)備供應(yīng)量暫時(shí)減少8.4%，因?yàn)锳SML擁有84%的市占率。