3月3日，江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司科創(chuàng)板上市申請正式獲得上交所受理，擬募資10億元。微導(dǎo)納米以原子層沉積（ALD）技術(shù)為核心，主要從事先進(jìn)微、納米級薄膜沉 積設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，向下游客戶提供先進(jìn)薄膜沉積設(shè)備、配套產(chǎn)品及服務(wù)。

 

ALD 技術(shù)廣泛適用于不同場景下的薄膜沉積，在光伏、半導(dǎo)體、柔性電子 等新型顯示領(lǐng)域均具有很好的應(yīng)用。報(bào)告期內(nèi)，其產(chǎn)品主要應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體領(lǐng)域。在成功實(shí)現(xiàn) ALD 技術(shù)應(yīng)用于光伏領(lǐng)域后，先后開發(fā)出對技術(shù)水平和工藝要求更高的半導(dǎo)體和柔性電子薄膜沉積設(shè)備，并逐步拓展應(yīng)用領(lǐng)域。國產(chǎn)ALD設(shè)備在28nm集成電路制造關(guān)鍵工藝（高介電常數(shù) 柵氧層材料沉積環(huán)節(jié)）中的突破。

 

微導(dǎo)納米此次擬募集資金10億元，扣除發(fā)行費(fèi)用后將用于基于原子層沉積技術(shù)的光伏及柔性電子設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)升級項(xiàng)目、基于原子層沉積技術(shù)的半導(dǎo)體配套設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)升級項(xiàng)目、集成電路高端裝備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心項(xiàng)目、以及補(bǔ)充流動(dòng)資金。

基于原子層沉積技術(shù)的光伏及柔性電子設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)升級項(xiàng)目擬基于公司現(xiàn)有 ALD 設(shè)備產(chǎn)線進(jìn)行升級擴(kuò)產(chǎn)，開發(fā)適用于光伏、柔性電子的 ALD設(shè)備，新增年產(chǎn)120 臺(tái)ALD設(shè)備的生產(chǎn)能力?；谠訉映练e技術(shù)的半導(dǎo)體配套設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)升級項(xiàng)目擬基于公司現(xiàn)有ALD設(shè)備產(chǎn)線進(jìn)行升級擴(kuò)產(chǎn)，開發(fā)適用于半導(dǎo)體的ALD設(shè)備，新增年產(chǎn)40套ALD設(shè)備。

 

公告指出，項(xiàng)目實(shí)施有助于公司擴(kuò)大產(chǎn)能，提升公司經(jīng)濟(jì)效益。有利于公司抓住半導(dǎo)體發(fā)展機(jī)遇，促進(jìn)半導(dǎo)體裝備國產(chǎn)化。有助于公司提升技術(shù)水平，持續(xù)升級現(xiàn)有產(chǎn)品。