3月3日，江蘇微導納米科技股份有限公司科創(chuàng)板上市申請正式獲得上交所受理，擬募資10億元。微導納米以原子層沉積（ALD）技術為核心，主要從事先進微、納米級薄膜沉 積設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，向下游客戶提供先進薄膜沉積設備、配套產(chǎn)品及服務。

 

ALD 技術廣泛適用于不同場景下的薄膜沉積，在光伏、半導體、柔性電子 等新型顯示領域均具有很好的應用。報告期內(nèi)，其產(chǎn)品主要應用于光伏、半導體領域。在成功實現(xiàn) ALD 技術應用于光伏領域后，先后開發(fā)出對技術水平和工藝要求更高的半導體和柔性電子薄膜沉積設備，并逐步拓展應用領域。國產(chǎn)ALD設備在28nm集成電路制造關鍵工藝（高介電常數(shù) 柵氧層材料沉積環(huán)節(jié)）中的突破。

 

微導納米此次擬募集資金10億元，扣除發(fā)行費用后將用于基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子設備擴產(chǎn)升級項目、基于原子層沉積技術的半導體配套設備擴產(chǎn)升級項目、集成電路高端裝備產(chǎn)業(yè)化應用中心項目、以及補充流動資金。

基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子設備擴產(chǎn)升級項目擬基于公司現(xiàn)有 ALD 設備產(chǎn)線進行升級擴產(chǎn)，開發(fā)適用于光伏、柔性電子的 ALD設備，新增年產(chǎn)120 臺ALD設備的生產(chǎn)能力?；谠訉映练e技術的半導體配套設備擴產(chǎn)升級項目擬基于公司現(xiàn)有ALD設備產(chǎn)線進行升級擴產(chǎn)，開發(fā)適用于半導體的ALD設備，新增年產(chǎn)40套ALD設備。

 

公告指出，項目實施有助于公司擴大產(chǎn)能，提升公司經(jīng)濟效益。有利于公司抓住半導體發(fā)展機遇，促進半導體裝備國產(chǎn)化。有助于公司提升技術水平，持續(xù)升級現(xiàn)有產(chǎn)品。