日前，由上海果納半導體設備有限公司研發(fā)團隊自主設計生產的國產首臺8LP雙天車系統(tǒng)的sorter（晶圓傳輸設備），取得終端客戶認證。晶圓傳輸設備在實現國產化的道路上再次獲得技術突破；作為國內半導體傳輸設備制造的新銳企業(yè)，果納由剛剛被評為“2022最值得關注的女性創(chuàng)業(yè)者”之一的創(chuàng)始人葉瑩女士的布局發(fā)展下，歷經短短1年多的快速發(fā)展中，陸續(xù)獲得國內多家知名半導體設備及制造企業(yè)的認可，團隊以優(yōu)質快速的服務響應，滿足客戶定制化的產品研發(fā)理念；不斷攻克技術難題，對標國際先進水平，打破行業(yè)技術壟斷，實現彎道超越。這是國產半導體產業(yè)良性發(fā)展的關鍵，同時代表著芯片行業(yè)細分領域國產自動化設備取得長足進展。

 

該項目負責人介紹——由果納自主研發(fā)的GN208型8 Loadport SORTER 在西安奕斯偉硅片技術有限公司認證通過，今天正式生產。該機臺設備是用于12寸大硅片廠出貨前的分選工序，其配備了8套晶圓承載系統(tǒng)，分設備兩側對稱安裝，可實現兩側同時對接天車。GN208設備結構布局緊湊，占地面積小，分選效率高，有效提高了客戶廠房廠務的利用率。

 

同時，果納GN208 SORTER機臺在設計上采用了恒壓微環(huán)境的設計概念，使設備內部的晶圓傳送區(qū)域始終保持較高潔凈度等級。通過設計上的保障，嚴格的組裝工藝，以及現場專業(yè)的服務團隊，該設備僅用了1個月的時間通過了50nm和28nm的particle、edge metal連續(xù)測試。

 

另外，果納GN208 SORTER 機臺配置了更友好的人機界面系統(tǒng)，更便于操作和監(jiān)控晶圓的分選路徑，輕松實現單倉排序，跨倉調配。同時，設備可識別兼容多種晶圓料盒，并搭載高精度晶圓ID讀碼器，使分選工作更高效可靠。設備采用了完全國內自主開發(fā)的SECS/GEM半導體標準傳輸協(xié)議，現已順利通過客戶的EAP測試。